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실리콘 옥사이드와 실리콘 나이트라이드 다층 박막에서의 실리콘 나노 클러스터와 어븀의 상호작용 거리에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
제주도의 팔라고나이트
한국암석학회 학술발표회 논문집
2008 .05
유기 실리콘 시료를 이용하는 유도결합형 플라즈마 산화막 증착장치에서의 플라즈마 특성연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .07
ZnO:N 박막 성장을 위한 유도결합 플라즈마 발생 및 처리
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
질소 플라즈마를 이용한 실리콘 질화막의 제작 및 실리콘 질화막과 실리콘구조의 계면분석
한국진공학회 학술발표회초록집
1993 .07
CAT-CVD를 이용한 실리콘 기반의 나노 결정 박막 형성 및 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
NF3 플라즈마 식각 진단 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
대기압 플라즈마에 의한 ZrO2 박막 형성
한국진공학회 학술발표회초록집
2005 .08
실리콘 박막을 이용한 가속도센서 제조기술
한국진공학회 학술발표회초록집
1993 .02
PC 기판상 ITO 박막 제작시 플라즈마 처리 효과
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
유도결합플라즈마를 이용한 실리콘 나노입자 박막 물성변화 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .02
사이레인 플라즈마에서 발생하는 실리콘 기반 나노입자 및 플라즈마의 in-situ 진단
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
CeO₂(111) / Si(111)위에 성장된 실리콘 박막 특성분석
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
비정질 실리콘 박막의 초기성장 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
Plastic film의 투명 보호막 적용을 위한 PECVD법으로 제작된 SiOx 박막연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
합성 슈워트마나이트의 용해도 상수에 관한 연구
대한지질학회 학술대회
2000 .10
합성 슈워트마나이트의 용해도 상수에 관한 연구
한국석유지질학회 학술발표회
2000 .01
화학기상증착법을 이용한 h-BN의 성장과 그 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .08
캐올리나이트의 합성
대한자원환경지질학회 학술발표회
2007 .01
유도결합형 플라즈마 식각 공정시 실리콘 표면의 잔류막 형성과 물리적, 전기적 손상에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1995 .06
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