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유소영 (한국광기술원) 김효진 (한국광기술원) 류상완 (전남대학교)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제37회 하계정기학술대회 프로그램집
발행연도
2009.8
수록면
164 - 164 (1page)

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