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CMP 패드의 그루브 두께 프로파일 측정 방법에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2020 .09
[논문] CFD를 이용한 CMP의 Pad Groove 형상 설계 연구
한국유체기계학회 논문집
2003 .12
화학기계적 연마(CMP) 공정에서의 트라이볼로지 연구 동향
Tribology and Lubricants
2018 .06
CMP 공정에서 마찰에너지가 연마결과에 미치는 영향
대한기계학회 논문집 A권
2004 .11
고분자 결함 구조에 따른 CMP pad의 표면 형상 및 CMP 성능 변화 연구
한국트라이볼로지학회 학술대회
2019 .04
CMP 장비의 초 고압(800g/cm²) 조건에서 구조 특성에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .12
CMP특성과 온도의 상호관계에 관한 연구
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2002 .10
Development of Multiple CMP Monitoring Systemfor Consumable Designs
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2007 .01
CMP 에서 연마패드 마모에 따른 연마율의 변화
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .10
입자스케일 유한요소모델에 의한 CMP공정 해석
한국트라이볼로지학회 학술대회
2012 .04
CMP 공정중 패드 표면의 온도분포에 관한 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2003 .04
마이크로 구조를 가진 패드를 이용한 MEMS CMP 적용에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2006 .05
CMP패드 산업동향
전자진흥
2004 .01
연마온도 제어에 따른 패드 물성 변화가 Cu CMP 성능에 미치는 영향
한국트라이볼로지학회 학술대회
2018 .10
반경험적인 실험설계 기법을 이용한 CMP 공정 변수의 최적화
전기전자재료학회논문지
2002 .01
CMP 공정에서의 패드 물성변화 및 입자 거동에 대한 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2012 .06
CMP 컨디셔닝 시스템에서 연마패드 마모에 관한 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2020 .06
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