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CMP 공정에서 패드 홈 밀도 변화에 따른 연마특성 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2003 .10
Cu용 슬러리 환경에서의 보호성 코팅이 융착 CMP 패드 컨니셔너에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2005 .06
고정입자 패드를 이용한 텅스텐 CMP에 관한 연구
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2001 .12
CMP슬러리 산업동향
전자진흥
2004 .01
CMP 장비의 초 고압(800g/cm²) 조건에서 구조 특성에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .12
CMP 공정에서의 패드 물성변화 및 입자 거동에 대한 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2012 .06
Groove Size Effect on CMP Characteristics and Analysis
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2010 .11
CMP 컨디셔닝 시스템에서 연마패드 마모에 관한 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2020 .06
연마온도 제어에 따른 패드 물성 변화가 Cu CMP 성능에 미치는 영향
한국트라이볼로지학회 학술대회
2018 .10
CMP특성과 온도의 상호관계에 관한 연구
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2002 .10
CMP 공정에서 패드 마멸이 응력분포에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2010 .11
고분자 결함 구조에 따른 CMP pad의 표면 형상 및 CMP 성능 변화 연구
한국트라이볼로지학회 학술대회
2019 .04
CMP 연마패드 형상 제어 및 실험적 검증
대한기계학회 춘추학술대회
2019 .11
알루미나 고정입자패드를 이용한 텅스텐 CMP 특성 평가
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2002 .10
고정입자 패드를 이용한 층간 절연막 CMP에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2001 .05
초음파를 이용한 Metal CMP의 Conditioning에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
1998 .11
CMP개론 및 현황
한국재료학회 학술발표대회
2007 .01
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