하이브리드 시스템에 의해 제조된 Cr-Si-N 박막내 바이어스와 온도에 따른 기계적 물성의 변화

홍승균 ,  박지훈 ,  윤창성 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2007 .04

Ti-Si-C, Ti-B-C 코팅막 내의 증착온도에 따른 미세구조와 기계적 물성 변화

허수정 ,  옥정태 ,  김광호

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2005 .05

Influence of Bias Voltage on the Microstructure and Properties of Ti-Si-N Films Deposited by Using High-power Impulse Magnetron Sputtering

Rongguang Jin ,  Ji Cheng Ding ,  KwangHo Kim

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2018 .11

Si 함량에 따른 Ti-Al-Si-C-N 코팅막의 미세구조와 기계적 특성의 변화에 관한 연구

홍영수 ,  권세훈 ,  김광호

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2009 .05

코발트/내열금속 이중박막을 이용한 $CoSi_{2}$ 에피박막형성에 관한 연구

김종렬 ,  조윤성 ,  배규식

한국재료학회지

1995 .01

PECVD법에 의해 증착된 Ti-Si-C 코팅막내의 Si 함량과 증착온도에 따른 미세경도와 탄성계수변화

옥정태 ,  전준하 ,  김광호

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2004 .05

하이브리드 공정으로 제조한 Ti-Si-N 박막의 특성평가

고철호 ,  이홍림 ,  김봉섭 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

바이어스 고출력 임펄스 마그네트론 스퍼터링 세스텀을 사용하여 Ti-Si-N 박막의 미세구조 및 성질에 영향

Rongguang Jin ,  Ji ChengDing ,  KwangHo Kim

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2020 .06

하이브리드 코팅시스템에 의해 제조된 Ti-Cr-Si-N 박막의 미세구조 및 기계적 특성연구

강동식 ,  전진우 ,  송풍근 외 1명

한국표면공학회지

2005 .06

하이브리드 증착 시스템을 이용한 나노복합체 Ti-Si-N 박막의 특성 연구

윤순영 ,  최성룡 ,  이미혜 외 1명

한국표면공학회지

2003 .04

하이브리드 증착 시스템에 의해 합성된 나노복합체 Ti-Al-Si-N 박막의 미세구조와 기계적 특성

박인욱 ,  최성룡 ,  김광호

한국표면공학회지

2003 .04

Co/Ti/Si 계에서 고상반응에 의한 Cobalt Silicide 형성기구 고찰

이승헌 ,  배준철 ,  신동원 외 1명

한국재료학회지

1996 .01

R.F Sputtering으로 제조한 ZnO박막의 미세구조와 광학적 특성에 미치는 잔류응력의 영향

류상 ,  김영만

한국표면공학회지

2005 .08

Si 함량에 따른 Ti-Al-Si-C-N 코팅막의 미세구조와 기계적 특성의 변화에 관한 연구

홍영수 ,  권세훈 ,  김광호

한국표면공학회지

2009 .04

질소함유량에 따른 질화규소 박막의 특성 및 기계적 성질

고철호 ,  김봉섭 ,  이홍림 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

Hybrid코팅시스템에 의해 증착된 Ti-Cr-Si-N 코팅막의 합성 및 기계특성

전진우 ,  홍승균 ,  김광호

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2006 .04

하이브리드코팅시스템으로 제조된 나노복합체 Ti-Si-C-N 코팅막의 미세구조와 미세경도

장철식 ,  전준하 ,  김광호

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2004 .05

PECVD 법에 의해 증착된 Ti-Si-C 코팅막 내의 증착 온도와 r.f. Power에 따른 특성 변화

옥정태 ,  전준하 ,  송풍근 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2004 .11