CMP공정에서 웨이퍼-패드의 실접촉면적 분포에 관한 연구

이창석 ,  이호준 ,  신운기 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2010 .11

고무 패드 성형법에서 패드부 유한요소 해석 ( I ) ( Finite Element Modeling of Pad Deformation In Rubber Pad Forming ( I ) )

신수정 ,  이태수 ,  오수익

대한기계학회 춘추학술대회

1995 .01

틸팅 패드 베어링 패드면의 모델링 및 해석 방법에 관한 연구

신민재 ,  정훈형 ,  김재실

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2011 .11

패드 베어링에서 패드사이의 거리가 유막압력에 미치는 영향 ( Effects of Distance between Pads on the Film Pressure in Pad Bearings )

김종수 ,  김경웅

Tribology and Lubricants

1997 .03

초경면 표면연마공정에서 패드표면상태 계측에 관한 연구

김형재 ,  김성렬 ,  류호연 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2009 .06

W CMP 공정에서의 연마패드표면 안정화 상태와 그 개선

박재홍 ,  키노시타 마사하루 ,  요시다 코이치 외 2명

전기전자재료학회논문지

2007 .01

효율적 웨이퍼 이송을 위한 비접촉 멀티패드 핸드장치의 최적설계

김옥래 ,  김종형 ,  고현준 외 4명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2013 .05

연마성능 제어를 위한 연마패드표면 해석과 개선

박재홍 ,  키노시타 마사하루 ,  요시다 코이치 외 2명

전기전자재료학회논문지

2007 .01

탈착식 자전거 캐리어용 흡착 패드의 실험 및 전산적 방법을 활용한 구조해석

서영성 ,  임근원

한국산학기술학회 논문지

2016 .03

컨디셔닝 공정에 의한 연마 패드 형상 변화의 기구학 해석에 관한 연구

이상직 ,  서헌덕 ,  오지헌 외 2명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2007 .06

마찰 온도가 연마 패드의 브레이크 인에 미치는 영향

정경우 ,  정선호 ,  최진욱 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2020 .09

패드 프로파일에 따른 웨이퍼 표면의 스트레스 분포

오지헌 ,  조한철 ,  안준호 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2008 .06

패드강성이 틸팅패드 저널베어링의 특성에 미치는 영향

최연선 ,  서준호

한국소음진동공학회 학술대회논문집

2016 .04

CMP Pad 표면 변화를 통한 초기 Polishing 특성 향상

김동우 ,  Kathleen McHugh ,  안봉수 외 1명

한국트라이볼로지학회 학술대회

2010 .06

실리콘 웨이퍼 폴리싱 패드의 수명과 드레싱 결함의 관계에 관한 연구

차지완 ,  이은상

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2009 .05

5-패드 틸팅패드 저어널베어링에서의 압력 및 온도 경계조건에 관한 실험적 연구 ( Experimental Investigation on the Pressure and Temperature Boundary Conditions in a Five-Pad Tilting Pad Journal Bearing )

하현천 ,  양승헌 ,  변형현 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

1996 .01

Diamond의 접촉 조건에 따른 Polyurethane pad의 마모특성 연구

김강준 ,  양지철 ,  김태성

한국트라이볼로지학회 학술대회

2010 .06

표면거칠기 값을 이용한 CMP 패드 미세형상 간소화

정호빈 ,  이현섭 ,  최성하 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2010 .11

자동차 브레이크 패드 분진 유해물질 포집 연구

손병래

한국자동차공학회 추계학술대회 및 전시회

2019 .11

플렉서블 타입 소결 브레이크 패드의 적용 연구

김성권 ,  김상호 ,  권석진 외 1명

Tribology and Lubricants

2011 .02