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저자정보
K.K. Hong Y. C. Jung (서울시립대학교) J. H. Cho (서울시립대학교) S. K. Hong (혜전대학) C. J. Kim (서울시립대학교)
저널정보
대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 대한전자공학회 2006년 하계종합학술대회
발행연도
2006.6
수록면
529 - 530 (2page)

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The paper presents solutions of conventional piezoresistive pressure sensors. Deflection of diaphragm by external stress causes some problems, because the electrode is deposited on the diaphragm formed piezoresistors. To solve these problems, piezoresistors ... 전체 초록 보기

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