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서정민 (LG전자) 박근영 (경북대학교) 이상룡 (경북대학교) 이춘영 (경북대학교)
저널정보
제어로봇시스템학회 제어로봇시스템학회 논문지 제어로봇시스템학회 논문지 제14권 제4호
발행연도
2008.4
수록면
336 - 341 (6page)

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Recently, research on a flat panel display(FPD) has focused on organic light-emitting display(OLED) which has wide angle of view, high contrast ratio and low power consumption. ITO(Indium-Tin-Oxide) films are the most widely used material as a transparent electrode of OLED and also in many other display devices like LCD or PDP. The performance and efficiency of OLED is related to the surface condition of ITO coated glass substrate. The typical surface defect of glass substrate is measured for electric characteristics and physical condition for transmittance and roughness. Since ITO coated glass substrate can be destroyed for inspection about surface roughness, sheet resistance, film thickness and transmittance, precise fabrication condition should be made based on the estimated relationship. In this paper, ITO films were prepared on the commercial glass substrate by the Ion-Plating method changing the partial pressure of gas(Ar, O2) and the chamber temperature between 200℃ and 300℃. The characteristics of films were examined by the 4-point probe, supersonic thickness measurement, transmittance measurement and AFM. We estimated the relationship between processing parameters(Ar gas, O2 gas, Temperature) and properties of ITO films (Sheet Resistance, Film Thickness, Transmittance, Surface Roughness).
#OLED(Organic Light-Emitting Display) #ITO(Indium-Tin-Oxide) #linear regression model #ion plating

목차

Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 배경이론
Ⅲ. 실험방법
Ⅳ. 실험결과
Ⅴ. 박막형성결과추론
Ⅵ. 결론
참고문헌

참고문헌 (17)

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1. [학술지(정기간행물)] - 곽동주 / 2003 / 방전 플라즈마 해석을 통한 PDP용 ITO 투명 정도막의 제작 및 특성 / Korea Institute of Electrical 16 (10) : 902 ~ google schola 2. [학술지(정기간행물)] - 김영관 / 2001 / 유기 EL 디스플레이 현황과 전망 / 월간반도체 162 : 97 ~ 100 dbpia 3. [학술지(정기간행물)] - K. Utsumi / 1999 / Low resistivity ITO film prepared using the ultra high density ITO target / Thin Solid Films 334 : 30 ~ 40 google schola 4. [학술지(정기간행물)] - 황인철 / 1999 / ITO 투명전도막의 제조 조건에 따른 특성 변화 / 산업기술종합연구소 논문집 17 : 395 ~ 401 google schola 5. [학술지(정기간행물)] - 최규만 / 1994 / ITO 투명 전극의 제조 및 그 특성 / 관대논문집 1994 (2) : 113 ~ 121 google schola

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