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저자정보
권오진 (한국생산기술연구원) 최성주 (한국기술교육대학교 기계공학부) 조현찬 (한국기술교육대학교 정보기술공학부) 김광선 (한국기술교육대학교 메카트로닉스공학부)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회 한국반도체및디스플레이장비학회 2003년도 춘계학술대회 발표 논문집
발행연도
2003.1
수록면
74 - 79 (6page)

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This paper is concerned with the estimation of a wafer part in grasping system. The estimation of a wafer size in grasping system is very important because a wafer must be placed in accurate position. The accurate information of a wafer size should be forward to Robot in order to place a wafer in accurate position. So in this paper, we decide the size of a wafer with Fuzzy Logic and consider the possibility of this method by simulation.

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