PECVD를 이용한 고굴절률차 SiON 평면 광도파로 박막 제작

이노도 ,  구영진 ,  김영철 외 1명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2006 .01

SiON 박막 증착에 사용된 플라즈마에 대한 진단

성만영 ,  김현석 ,  김기현 외 1명

전기전자재료학회논문지

2003 .01

PECVD법에 의해 성장된 실리카 광도파로 코어층의 열처리 효과

김용탁 ,  조성민 ,  서용곤 외 4명

한국통신학회 기타 간행물

2002 .10

PECVD법으로 증착된 DLC film의 광학적 특성연구

김문협 ,  송재진 ,  노재승 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

Remote PECVD와 Direct PECVD에 의해 증착된 실리콘 산화막의 특성 평가 ( Evaluation of Silicon Oxide Films Deposited by Remote PECVD and Direct PECVD )

정윤권 ,  정문식 ,  강봉구

대한전자공학회 학술대회

1991 .11

Si 함량이 PECVD SiON 박막의 전기적 및 광학적 물성에 미치는 영향

유춘근 ,  구자춘 ,  오수진 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

SiO₂를 이용하여 Sputtering 방법에 의하여 증착된 SiON 박막의 특성

이호택 ,  이학훈 ,  안지섭 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .11

플라즈마 화학증착법으로 제조한 B-doped a-$Si_{1-X}$$C_X$:H 박막을 이용한 비정질 실리콘 박막 태양전지에 관한 연구

정연학 ,  박재석 ,  이재신

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

PECVD법으로 증착된 DLC film의 특성

송재진 ,  최진혁 ,  노재승 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

PECVD법에 의한 DLC 박막의 증착

김상호 ,  김동원

한국표면공학회지

2002 .04

PECVD 방법으로 증착된 알루미늄 산화박막의 조성 및 구조 분석

김용천 ,  이원종 ,  천성순

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

PECVD법으로 증착된 DLC film의 구조변화 연구

송재진 ,  김문협 ,  최진혁 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

PECVD SiON 절연막을 이용한 4H-SiC MOS 소자 특성 연구

김현섭 ,  이재길 ,  임종태 외 1명

전기전자학회논문지

2018 .09

열처리 조건이 PECVD방식으로 증착된 Ta2O5 박막 특성에 미치는 영향 ( Effect of Annealing Conditions on Ta2O5 Thin Films Deposited By PECVD System )

백용구 ,  은용석 ,  박영진 외 2명

전자공학회논문지-A

1993 .08

RF-PECVD법과 ECR-PECVD법에 의해 증착된 TiN 박막의 물성에 관한 비교 연구

김종석 ,  전병혁 ,  이응직 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1995 .01

Laser CVD에 의한 SiON막의 형성과 그 특성

권봉재 ,  박종욱 ,  천영일 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1991 .11