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PECVD를 이용한 고굴절률차 SiON 평면 광도파로 박막 제작
한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회
2006 .01
SiON 박막 증착에 사용된 플라즈마에 대한 진단
전기전자재료학회논문지
2003 .01
PECVD법에 의해 성장된 실리카 광도파로 코어층의 열처리 효과
한국통신학회 기타 간행물
2002 .10
PECVD법으로 증착된 DLC film의 광학적 특성연구
한국재료학회 학술발표대회
1999 .01
Remote PECVD와 Direct PECVD에 의해 증착된 실리콘 산화막의 특성 평가 ( Evaluation of Silicon Oxide Films Deposited by Remote PECVD and Direct PECVD )
대한전자공학회 학술대회
1991 .11
Si 함량이 PECVD SiON 박막의 전기적 및 광학적 물성에 미치는 영향
한국재료학회 학술발표대회
1999 .01
SiO₂를 이용하여 Sputtering 방법에 의하여 증착된 SiON 박막의 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .11
플라즈마 화학증착법으로 제조한 B-doped a-$Si_{1-X}$$C_X$:H 박막을 이용한 비정질 실리콘 박막 태양전지에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
PECVD법으로 증착된 DLC film의 특성
한국재료학회 학술발표대회
1997 .01
PECVD법에 의한 DLC 박막의 증착
한국표면공학회지
2002 .04
PECVD 방법으로 증착된 알루미늄 산화박막의 조성 및 구조 분석
한국재료학회 학술발표대회
1992 .01
PECVD법으로 증착된 DLC film의 구조변화 연구
한국재료학회 학술발표대회
1999 .01
PECVD SiON 절연막을 이용한 4H-SiC MOS 소자 특성 연구
전기전자학회논문지
2018 .09
열처리 조건이 PECVD방식으로 증착된 Ta2O5 박막 특성에 미치는 영향 ( Effect of Annealing Conditions on Ta2O5 Thin Films Deposited By PECVD System )
전자공학회논문지-A
1993 .08
RF-PECVD법과 ECR-PECVD법에 의해 증착된 TiN 박막의 물성에 관한 비교 연구
한국재료학회 학술발표대회
1995 .01
Laser CVD에 의한 SiON막의 형성과 그 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
1991 .11
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