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대한전기학회 대한전기학회 학술대회 논문집 1991年度 秋季學術大會 論文集
발행연도
1991.11
수록면
241 - 244 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

1991

Laser CVD에 의한 SiON막의 형성과 그 특성
권봉재 ,  박종욱 ,  천영일 외 3명 대한전기학회 학술대회 논문집 1991.11 학술대회자료
Laser CVD SiO2 막의 절연파괴특성 ( Breakdown Characteristics of Laser CVD SiO2 Films )
권봉재 ,  박종욱 ,  김상욱 외 3명 대한전자공학회 학술대회 1991.07 학술대회자료
Laser CVD SiO₂ 막의 절연파괴특성
권봉재 ,  박종욱 ,  김상욱 외 3명 대한전자공학회 학술대회 1991.06 학술대회자료

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목차

Abstract
1. 서론
2. 시료의 제작 및 측정
3. 결과 및 고찰
4. 결론
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