PECVD 법에 의해 증착된 광도파로용 SiON 후막 특성 평가

김용탁 ,  양우석 ,  조성민 외 3명

한국통신학회 기타 간행물

2001 .10

Remote PECVD와 Direct PECVD에 의해 증착된 실리콘 산화막의 특성 평가 ( Evaluation of Silicon Oxide Films Deposited by Remote PECVD and Direct PECVD )

정윤권 ,  정문식 ,  강봉구

대한전자공학회 학술대회

1991 .11

열처리 조건이 PECVD방식으로 증착된 Ta2O5 박막 특성에 미치는 영향 ( Effect of Annealing Conditions on Ta2O5 Thin Films Deposited By PECVD System )

백용구 ,  은용석 ,  박영진 외 2명

전자공학회논문지-A

1993 .08

PECVD(Plasma enhanced chemical vapor deposition)방법에 의한 a-C:H 박막의 열처리에 관한 연구

한준희 ,  진억용

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

PECVD법으로 증착시킨 a-SiC:H 박막의 열처리온도 변화에 따른 특성분석

박문기 ,  최원석 ,  김인준 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2001 .06

열처리 조건이 PECVD $Ta_{2}O_{5}$ 박막 특성에 미치는 영향

백용구 ,  박영진 ,  김종철 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

플라즈마 화학증착법으로 제조한 B-doped a-$Si_{1-X}$$C_X$:H 박막을 이용한 비정질 실리콘 박막 태양전지에 관한 연구

정연학 ,  박재석 ,  이재신

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

Fe:LiNbO₃ 광도파로의 제작

강기형 ,  정석문 ,  정태혁 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1992 .06

PECVD법으로 증착된 DLC film의 광학적 특성연구

김문협 ,  송재진 ,  노재승 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

PECVD법으로 증착한 다이아몬드성 카본 박막의 열처리에 따른 구조변화에 관한 연구

김준우 ,  진억용

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

PECVD 법으로 형성된 $Ta_{2}O_{5}$ 유전박막의 전기적 특성에 미치는 급속 후속 열처리의 영향

한성욱 ,  이재석 ,  박종완 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

ECR-PECVD와 RF-PECVD법에 의해 증착된 TiN박막의 특성 비교

전병혁 ,  김종석 ,  이응직 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

PECVD법에 의한 DLC 박막의 증착

김상호 ,  김동원

한국표면공학회지

2002 .04

RF-PECVD법과 ECR-PECVD법에 의해 증착된 TiN 박막의 물성에 관한 비교 연구

김종석 ,  전병혁 ,  이응직 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1995 .01

PECVD에 의해 제조된 ($Ba_{1-x}Sr_x$)TiO$_3$ 박막의 특성 및 전기적 성질

홍성의 ,  윤순길

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

PECVD 방법으로 증착된 알루미늄 산화박막의 조성 및 구조 분석

김용천 ,  이원종 ,  천성순

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

PECVD를 이용한 MoS₂ 원자층 합성

김형우 ,  안치성 ,  Gi 외 4명

대한기계학회 춘추학술대회

2013 .05

PECVD에 의한 질화 실리콘 박막의 증착

허창우

한국정보통신학회논문지

2007 .11

PECVD법으로 증착된 DLC film의 특성

송재진 ,  최진혁 ,  노재승 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

PECVD로 제조된 비정질 질화탄소 박막의 물성에 미치는 열처리 효과

문형모 ,  김상섭

한국재료학회지

2003 .01