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The UV-Nanoimprint Lithography with Multi-head Nanoimprinting Unit for Sub-50nm Half-pitch Patterns
제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집
2006 .10
Nanoimprint Lithography 기술의 이해
전자공학회지
2006 .04
Fabrication of Nanoscale Patterns by Nanoimprint Lithography and Their Applications
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2009 .10
나노 임프린트 장비응용 기능성 나노구조물 제작
대한기계학회 춘추학술대회
2006 .06
Fabrication of functional ZnO nano-structures for optical devices by UV nanoimprint lithography
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2012 .11
Roll mold용 180㎚ 급 대면적 (300㎜ × 900㎜) 패턴 제작
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2020 .06
나노임프린트 리소그래피를 위한 스케일 다운된 산화막 스탬프제작과 패턴결함 개선에 관한 연구
전기전자재료학회논문지
2006 .01
레지스트 조건에 따른 나노임프린트 Filling 현상
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2010 .05
Fabrication Silicon Nanowire Using UV-assisted Nanoimprint Lithography for Detection of Dopamine
한국생물공학회 학술대회
2010 .10
유연기판을 위한 UV/Thermal 하이브리드방식 나노임프린트 시스템
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2011 .04
유연기판을 위한 UV/Thermal 하이브리드방식 나노임프린트 시스템
한국생산제조학회지
2011 .06
Contact Pressure Analysis of Nanoimprint Lithography for Roll Mold Fabrication
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2012 .10
A Numerical Analysis of Polymer Flow in Thermal Nanoimprint Lithography
반도체디스플레이기술학회지
2010 .01
FEM 기반 결함 분석을 이용한 나노임프린트 공정 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2007 .06
Fabrication of Low-cost nanoimprint Mold Using Nanosphere Lithography
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2008 .06
나노임프린트 리소그래피용 UV 경화성 레진의 점착특성
한국트라이볼로지학회 학술대회
2010 .06
무기고분자
폴리머
1985 .12
Polymer Photonic Crystal Nano-Systems Fabricated by Nanoimprint Lithography
제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집
2006 .10
대면적 롤 나노임프린트 리소그래피 시스템 기술
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2015 .04
희생층과 UV 나노임프린트 리소그래피를 이용한 lift off 공정
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2014 .05
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