대기압 플라즈마를 이용한 산화물 박막 트랜지스터 표면처리에 관한 연구

김가영; 김경남; 염근영

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자료유형: 학술저널

저자정보: 김가영 (성균관대학교) 김경남 (성균관대학교) 염근영 (성균관대학교)

저널정보: 한국표면공학회 한국표면공학회지 한국표면공학회지 제48권 제1호

발행연도: 2015.2

수록면: 7 - 10 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2015

대기압 플라즈마를 이용한 산화물 박막 트랜지스터 표면처리에 관한 연구

김가영 , 김경남 , 염근영 한국표면공학회지 2015.02 학술저널

2013

대기압 플라즈마를 이용한 산화물 박막트랜지스터 특성 개선에 관한 연구

김가영 신소재공학과 2013.01 학위논문

2012

대기압 플라즈마를 이용한 frequency 변화에 따른 SiOx 박막 특성 변화

김가영 , 박재범 , 염근영 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2012.05 학술대회자료

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Recently, oxide TFTs has attracted a lot of interests due to their outstanding properties such as excellent environmental stability, high mobility, wide-band gap energy and high transparency, and investigated through the method using vacuum system and wet solution. In the case of the method using wet solution, process is very simple, however, annealing process should be included. In this study, to overcome the problem of annealing process, atmospheric pressure plasma was used for annealing, and the electrical characteristics such as on/off ration and mobility of device were investigated.

#Plasma #Oxide TFT #IGZO

참고문헌 (13)

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1. [학술지(정기간행물)] - S. H. Jeong / 2008 / / J. Phys. Chem. C 112 : 30 ~

2. [학술지(정기간행물)] - J. C. Park / 2008 / / Appl. Phys. Lett 93 : 53505 ~

3. [학술지(정기간행물)] - S. J. Lim / 2010 / / Journal of The Electrochemical Society 157 : 2 ~

4. [학술지(정기간행물)] - S. H. Jeong / 2010 / / Adv. Mater 22 : 1915 ~

5. [학술지(정기간행물)] - K. Remashan / 2010 / / Jpn. J. Appl. Phys 49

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김가영

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소속기관 대전대학교

주요연구분야 자연과학 > 물리학 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 51 이용수 1,657

염근영

소속기관 성균관대학교

주요연구분야 자연과학 > 물리학 TOP 5% 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 10%

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