CHF₃/ C₂F₆ 반응성 이온 건식 식각시 실리콘 표면 잔류막 특성 변화에 미치는 감광막 마스크의 영향

권광호 ,  이수민 ,  이종석 외 7명

대한전자공학회 학술대회

1991 .06

Characteristics of contaminated silicon surface due to CHF3/C2F6 reactive ion etching and Post etch treatments for removal of surface residue

박형호 ,  권광호 ,  곽병화 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

CHF3/C2F6 반응성이온 건식식각에 의한 실리콘 표면의 오염 및 제거에 관한 연구 ( A Study on the Silicon surface and near-surface contamination by CHF3/C2F6 RIE and its removal with thermal treatment and O2 plasma exposure )

권광호 ,  박형호 ,  이수민 외 4명

전자공학회논문지-A

1993 .01

$CHF_3/C_2F_6$ 반응성이온 건식식각에 의한 실리콘 표면의 변형에 관한 연구

박형호 ,  권광호 ,  곽병화 외 4명

한국재료학회지

1991 .01

반응성 이온 건식식각에 의해 형성된 실리콘 표면 잔류막의 특성연구

이수민 ,  권광호 ,  이종석 외 6명

대한전자공학회 학술대회

1991 .06

반응성 이온 건식식각에 의해 형성된 실리콘 표면 잔류막의 특성연구 ( Charaterization of Si-Surface Residues Caused by Reactive Ion Etching )

이수민 ,  권광호 ,  이종석 외 6명

대한전자공학회 학술대회

1991 .07

$CHF_3/C_2F_6$ 반응성이온 건식식각에 의해 변형된 실리콘 표면의 열적 거동에 관한 연구

박형호 ,  권광호 ,  곽병화 외 5명

한국재료학회지

1992 .01

A Study on Modified Silicon Surface after CHF3/C2F6 Reactive Ion Etching

Hyung-Ho Pa ,  k ,  Kwang-Ho Kwon 외 7명

[ETRI] ETRI Journal

1994 .02

수조 비등에서 표면 특성이 CHF에 미치는 영향에 대한 연구 동향 고찰

염수진 ,  안상모 ,  이승섭 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2008 .11

Prediction of dryout-type CHF for rod bundle in natural circulation loop under motion condition

Siyang Huang

Nuclear Engineering and Technology

2020 .01

A Study on the Characteristics and Thermal Behavior of Residual Film Formed by CHF3 / C2F6 Reactive on Etching

H. H. Pa ,  k ,  K. K. Kwon 외 8명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1991 .01

평판형 히터를 이용한 나노 유체 풀비등 임계열유속의 실험적 연구

안호선 ,  김선태 ,  조항진 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2008 .04

Transient CHF Phenomena Due to Exponentially Increasing Heat Inputs

JONGDOC PARK ,  KATSUYA FUKUDA ,  QIUSHENG LIU

Nuclear Engineering and Technology

2009 .01

초음파에 의한 평판에서의 임계열유속 증진에 대한 실험적 연구

김대훈 ,  권영철 ,  정지환

대한기계학회 춘추학술대회

2003 .04

AN EXPERIMENTAL STUDY ON POST-CHF HEATTRANSFER FOR LOW FLOW OF WATER IN A 3x3 RODBUNDLE

조석 ,  문상기 ,  SE-YOUNG CHUN 외 2명

Nuclear Engineering and Technology

2005 .01

개질된 표면을 이용한 풀비등 임계열유속 증진에 관련한 실험적 연구

강순호 ,  안호선 ,  조항진 외 3명

대한기계학회 논문집 B권

2009 .11

마이크로/나노 사이즈의 표면 개질을 통한 풀 비등 임계열유속 향상을 위한 실험적 연구

김선태 ,  김형모 ,  안호선 외 3명

대한기계학회 춘추학술대회

2008 .04

나노유체를 이용한 풀비등 임계열유속 증가에 대한 실험적 연구

김형대 ,  김무환

대한기계학회 춘추학술대회

2006 .11

The General Post-CHF Heat Transfer Prediction Method for Tubes on the Base of the Look-up Table

A. D. Efanov ,  A. A. Ivashkevitch ,  P. L. Ki 외 9명

Heat Transfer Conference

1998 .08

초음파 진동이 경사진 평판에서의 CHF에 미치는 영향에 대한 실험연구

정지환 ,  김대훈 ,  권영철

에너지공학

2003 .06