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엑시머 레이저를 이용하여 동시에 형성된 실리콘 산화막과 다결정 실리콘 박막 ( Silicon Oxide and Poly - Si Film Simultaneously Formed By Excimer Laser )
전자공학회논문지-D
1997 .01
다결정 실리콘 / 다결정 실리콘 열산화막의 계면 거칠기를 개선하기 위한 새로운 산화 방법
대한전자공학회 학술대회
1995 .01
산소를 함유한 비정질 실리콘 박막에 대한 XeCl 엑시머 레이저 어닐링 효과
전기학회논문지
1997 .12
LPCVD 다결정 실리콘 박막의 성장 및 다결정 실리콘 박막 트랜지스터에의 응용
대한전자공학회 학술대회
1994 .01
급속열처리와 엑시머 레이저에 의해 형성된 다결정 실리콘 박막에서 열처리 방법에 따른 박막의 특성변화
한국재료학회지
1997 .01
금속 유도 엑시머 레이져 어닐링을 이용한 다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 제작
대한전기학회 학술대회 논문집
2002 .07
소형 다결정 실리콘 박막 트랜지스터 LCD의 제작
대한전자공학회 학술대회
1995 .01
반도체 노광공정에 이용되는 엑시머 레이저의 기술 현황 및 시장 동향
광학세계
2002 .01
실리콘 산화공정에 대한 실험적 고찰
대한전자공학회 심포지엄 논문집
1978 .01
실리콘 산화공정에 대한 실험적 고찰
대한전자공학회 학술대회
1978 .01
SiOxFy/a-Si 구조에 엑시머 레이저 조사에 의해 불소화된 다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 전기적 특성과 신뢰도 향상
전기학회논문지 C
1999 .09
다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 Off 전류 저감
대한전자공학회 학술대회
1995 .01
엑시머 레이저
전기의세계
2000 .01
실리콘 문화 96
CAD 및 VLSI 설계연구회지
1996 .01
실리콘 원료계통의 개요
전자진흥
1983 .01
마이크로웨이브를 이용해 결정화시킨 다결정실리콘을 이용해 제작한 박막트랜지스터 특성
대한전자공학회 학술대회
1998 .01
MEMS 소자용 단결정 실리콘과 다결정 실리콘 마이크로 인장 시편의 제조 및 특성
한국재료학회 학술발표대회
2007 .01
비정질 실리콘 박막에서 엑시머 레이저에 의한 붕소이온의 수평확산
대한전기학회 학술대회 논문집
2002 .07
폐슬러지 실리콘을 이용한 마이크론 크기의 이산화 실리콘 구형입자 제조
한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회
2004 .01
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