Reducing Crystallization Temperature and Time of a LPCVD Amorphous Silicon Thin Film in Al / Amorphous Si Structure

김진혁 ,  이정용

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

Preparation of Metal Film by Spin Coating Method

Kim ,  Hak-Ju ,  Lee 외 7명

한국유변학회 Conference

2001 .01

Microwave-Enhanced Low-Temperature Crystallization of Amorphous Silicon Films for TFTs

Ahn ,  Jin-Hyung ,  Eom 외 3명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2002 .01

Application of 532 ㎚ Nd:YAG Laser Annealing to Crystallization of Amorphous Si Thin Films

Jaewon Lee ,  Jong-Won Lee ,  Haseung Chung 외 3명

대한기계학회 춘추학술대회

2009 .05

Application of 532 nm YAG-Laser Annealing to Crystallization of Amorphous Si Thin Films Deposited on Glass Substrates

Lee ,  Jong-Won ,  So 외 5명

한국재료학회지

2008 .01

Excimer-Laser Crystallization for Low-Temperature Polycrystalline Si TFTs

Kim ,  Hyun-Jae

한국정보디스플레이학회 학술대회

2000 .01

Alternating Magnetic Field Crystallization of Amorphous Si Films

Kang ,  K.H. ,  Pa 외 8명

Journal of information display

2003 .01

Molecular Dynamics Study on External Field Induced Crystallization of Amorphous Argon Structure

Seungho Pa ,  k ,  Sung San Cho 외 3명

Journal of Mechanical Science and Technology

2004 .11

Amorphous Si의 제작과 특성

성영권 ,  이병득 ,  민병무 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1984 .07

Laser를 이용하지 않는 비정질 실리콘 박막의 극저온결정화

신종배 ,  김병수 ,  최덕균

한국재료학회 학술발표대회

2004 .01

Fe-Si-B-Ni 비정질 합금의 어닐링에 관한 연구

김신우 ,  송용설 ,  백무흠

한국재료학회지

2003 .01

A comprehensive study of spin coating as a thin film deposition technique and spin coating equipment

Tyona ,  M.D.

Advances in materials research : AMR

2013 .01

METAL-INDUCED LATERAL CRYSTALLIZATION OF AMORPHOUS SILICON FILMS ON GLASS USING RAPID THERMAL ANNEALING

Kim ,  Tae-Kyung ,  Lee 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

Crystallization of Amorphous Silicon Films Using Joule Heating

Jae-Sang Ro

한국표면공학회지

2014 .02

Enhanced Crystallization of Amorphous Si Using viscous Ni Solution and Microwave Annealing

Ahn ,  Jin-Hyung ,  Eom 외 3명

Journal of information display

2001 .01

SOLID PHASE CRYSTALLIZATION OF AMORPHOUS SILICON THIN FILM BY SURFACE ACTIVATION TREATMENT

Lee ,  Ui-S. ,  Kim 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

A Novel Method of Solid Phase Crystallization of LPCVD Amorphous Si Films by Nucleation Interface Control

Eui Hoon Hwang ,  Se Jin Chung ,  Jae Sang Ro

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

Crystallization of Amorphous Silicon Films by Field-Aided Lateral Crystallization (FALC) technique at $350^{\circ}C$

Pa ,  k ,  Kyoung-Wan 외 4명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2002 .01

Wafer Spin Coating 공정에서 증발과 용액이 박막 형성에 미치는 영향에 관한 연구

노영미 ,  임익태 ,  김광선

한국반도체장비학회지

2003 .01

Enhanced Crystallization of Si at Low Temperature by $O_2$ Flow during Deposition

Nam ,  Hyoung-Gin ,  Koo 외 1명

반도체및디스플레이장비학회지

2007 .01