UV-excited F₂/H₂를 이용한 실리콘 자연산화막 제거에 관한 연구

최성호 ,  최진식 ,  김성일 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .07

Excimer Laser를 이용한 건식 세정에 있어 세정 효율의 정량적 평가

백지영 ,  송재동 ,  이명화 외 2명

대한환경공학회 학술발표논문집

2007 .12

실리콘 웨이퍼의 화학반응층 분석에 관한 연구

박준민 ,  정해도

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2003 .10

환경친화적인 실리콘 웨이퍼 세정 연구

윤효섭 ,  류근걸

청정기술

2000 .06

오존수를 이용한 태양전지용 웨이퍼의 세정에 관한 연구

문세호 ,  채상훈 ,  손영수

전자공학회논문지

2013 .11

UV 조사와 $NF_3/H_2$를 사용한 웨이퍼 세정공정에서 자연 산화막 제거에 대한 공정 조건의 영향

권성구 ,  김도현

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

UN-ozone을 이용한 실리콘 표면 세정 효과의 연구

이경우 ,  조용범 ,  천희곤 외 6명

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

오존/자외선에 의한 실리콘 웨이퍼의 정밀세정에 관한 연구

박현미 ,  이창호 ,  전병준 외 5명

대한전기학회 학술대회 논문집

2004 .07

Development of watermark free drying process on hydrophobic wafer surface for single wafer process tool

임정수 ,  최승주 ,  성보람찬 외 2명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2007 .01

세정평가

안강호

공기청정기술

1994 .01

방사성물질 오염물 세정기술 개발을 위한 마이크로버블 특성 평가

박상규 ,  김연화 ,  전종선 외 3명

한국방사성폐기물학회 학술대회

2009 .01

동시세정방식 및 금속막에 의한 정밀여과기술

최이송 ,  김성윤

물과 미래 : 한국수자원학회지

2009 .01

금속불순물 제거를 위한 UV/ozone과 HF 세정연구

이원준 ,  전형탁

한국재료학회지

1996 .01

친환경 평판 디스플레이 세정을 위한 $CO_2$ Snow Jet 세정공정 개발에 관한 연구

정지현 ,  강봉균 ,  김민수 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2011 .01

태양전지용 웨이퍼의 오염 분석 및 세정에 관한 연구

손영수 ,  함삼용 ,  채상훈

전자공학회논문지

2014 .08

극저온 $CO_2$를 이용한 세정장치 개발

윤철남

발명특허

2001 .01

반도체 및 평판 디스플레이 산업에서의 진공 챔버 건식 세정을 위한 원격 플라즈마 생성 장치

이한용 ,  손정훈 ,  장보은 외 3명

전력전자학회 학술대회 논문집

2017 .07

실리콘 웨이퍼 미세 표면결함의 광산란 특성 평가

하태호 ,  송준엽 ,  Takashi MIYOSHI 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2005 .06

반도체용 실리콘 웨이퍼의 초정밀 입자 가공

이은상 ,  이정택 ,  원종구

기계저널

2010 .06

HF-last Cleaning에서 SC-1 step과 $UV/O_3$ step이 gate 산화막에 미치는 영향

최형복 ,  류근걸 ,  정상돈 외 1명

한국재료학회지

1996 .01