Electron Cyclotron Resonance N₂O-플라즈마 산화를 이용한 열산화막의 신뢰성 향상

李進雨 ,  李來寅 ,  韓喆熙

전기학회논문지

1998 .08

다결정 실리콘 박막트랜지스터를 위한 저온 Electron Cyclotron Resonance N₂O-플라즈마 산화

李進雨 ,  李來寅 ,  韓喆熙

전기학회논문지

1998 .09

Electron Cyclotron Resonance Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition 에 의한 상온 실리콘 산화막 형성시 질소 첨가가 절연막의 특성에 미치는 영향 ( Effects of Nitrogen Addition on the Dielectric Characteristics of Room Temperature Silicon Oxide Thin Films Prepared by Electron Cyclotron Resonance Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition )

이호영 ,  전유찬 ,  주승기

전자공학회논문지-A

1994 .11

전자공명을 이용한 저온 플라즈마 식각에 관한 연구

이석현 ,  김재성 ,  황기웅 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1992 .07

전자 공명을 이용한 저온 플라즈마 식각에 관한 연구

李晳賢 ,  金在聲 ,  金元圭 외 1명

전기학회논문지

1993 .03

Electrical properties of lanthanum hafnium oxide thin films deposited by electron cyclotron resonance atomic layer deposition

김웅선 ,  고명균 ,  김태섭 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

ECR 플라즈마에 의한 알루미늄 질화처리시 표면조도의 영향

김진수 ,  안재현 ,  고경헌 외 1명

한국표면공학회지

1991 .12

Formation of β-SiC By Carburization of Si ( 100 ) Surface at 600 C using ultra-High Vacuum Electron Electron Cyclotron Resonance Chemical Vapor Deposition

표재확 ,  황기웅

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

EFFECT OF THE ROUGHNESS OF SUBSTRATE SURFACE ON LOW-TEMPERATURE SILICON EPITAXIAL GROWTH

Kwon ,  Sung-Ku ,  Kim 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

전자 싸이클로트론 공명 플라즈마 화학 증착법에 의한 실리콘 질화막 형성 및 특성 연구

김용진 ,  김정형 ,  송선규 외 1명

한국표면공학회지

1992 .12

Fabrication of Low Temperature Si Pn Diode by Ultrahigh Vacuum Electron Cyclotron Resonance Chemical Vapor Deposition

황기현 ,  박진원 ,  김진양 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

초고진공 전자 사이클로트론 공명 화학 기상증착장치의 제작과 수소 플라즈마를 이용한 실리콘 기판 표면 세정화 ( Manufacturing of Ultrahigh Vacuum Electron Cyclotron Resonance Chemical Vapor Deposition Reactor and Si Wafer Surface Cleaning by Hydrogen Plasma )

황석희 ,  태흥식 ,  황기웅

전자공학회논문지-A

1994 .04

Oxidation of Single Crystal Silicon and Strained Si on Relaxed Si1-xGex Buffer Layer by Electron Cyclotron Resonance

서문석 ,  김병목 ,  류홍우 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

플라즈마 집속 전자빔을 이용한 SKD11 소재의 표면조도 특성

최경호 ,  강은구 ,  한창수 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2015 .05

Raman Scattering Study of InGaN Grown by Ion-Removed Electron Cyclotron Resonance MBE on ( 001 ) Al2O3

Yong Seok Choi ,  Soon Jae Yu ,  Yong Kook Joh 외 5명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

산소 유량별 플라즈마 방출광원 세기에 따른 전자온도 진단과 산화주석박막 특성연구

박혜진 ,  최진우 ,  조태훈 외 2명

한국표면공학회지

2016 .02

Direct Lithography on Hydrogen-Terminated Silicon Surface Using Two-Dimensional Hydrogen Analysis

K. Ishikawa ,  M. Yoshimu ,  a 외 1명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Laser-Induced Plasma Spectroscopy Measurement on Surface Roughness in Surface Treatment of Titanium Alloys

Ji-Hun Kim ,  Joohan Kim

한국기계가공학회지

2020 .02

Temperature Monitoring of Silicon Wafer Surface Exposed to Plasma Discharge

임영대 ,  이승환 ,  유원종

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2009 .05

A Study on the Simulation Model of the Surface Roughness for Turning Process

Min-Sung Hong ,  Zhe-Man Lian ,  Jong-Min Kim

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2000 .10