위상변환 마스크 리소그래피에 의한 0.15μm T-형 게이트 형성방법 ( The Formantion of 0.15μm T-Shaped GAte By Phase Shift Mask Using A New Optical Lithograpic Technique )

박병선 ,  김일광 ,  이진희 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1996 .11

미해상회절 마스크 광리소그래피를 이용한 T-형 패턴 게이트 형성기술

박병선 ,  오용호 ,  양전욱 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1995 .12

T-형 게이트 패턴 형성을 위한 포토마스크 구조 및 리소그래피 공정

박병선 ,  오용호 ,  정해빈 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1995 .01

157nm 광리소그래피 위상변위 마스크용 Si-O-N-F 박막의 특성연구

김성관 ,  김형도 ,  김정민 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

미해상회절 마스크 광리소그레피를 이용한 T-형 패턴 게이트 형성기술 ( T-shaped Gate Metal Formation by using Optical Lithography Technique with Dummy Diffraction Mask )

박병선 ,  오용호 ,  양전욱 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1995 .11

롤타입 마스크를 이용한 연속 포토리소그래피 기술과 그 응용

곽문규

대한기계학회 논문집 B권

2012 .10

미세 패턴 형성을 위한 위상 반전 마스크 연구 ( Alternating Phase Shift Mask for Sub-0.25 mm Lithography )

김희범 ,  안창남 ,  백기호

대한전자공학회 워크샵

1996 .01

위상천이 네트워크를 사용한 X-마스크 기법

송동섭 ,  강성호

전자공학회논문지-SD

2007 .02

선형편광과 위상마스크를 이용한 광 암호화

배효욱 ,  서동환 ,  신창목 외 3명

한국통신학회 기타 간행물

2001 .10

랜덤 위상 마스크를 이용한 광 메모리에서의 암호화 특성

최진산 ,  양병춘 ,  이병호

대한전기학회 학술대회 논문집

1999 .11

나노/마이크로 복합 금형 제작을 위한 소프트 마스크 위상 이동 리소그래피 공정 기술 연구

김지원 ,  조상욱 ,  이태호 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2013 .05

광리소그래피 위상변위 마스크를 위한 Si-O-N-F 박막의 모사연구 및 특성분석

최은철 ,  김성관 ,  노광수 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

상변화 마스크를 이용한 나노 리소그래피에 관한 연구

성중현 ,  김민수 ,  정명기 외 1명

한국소성가공학회 학술대회 논문집

2018 .05

위상마스크를 사용하는 동시위상천이 간섭계의 위상천이 값 측정 및 보정방법

이동원 ,  김재완 ,  한재원 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2013 .05

마스크 데이타 처리 프로그램의 개발 ( Development of a Mask Data Processing Program )

정자춘 ,  이철동 ,  유영욱

한국통신학회 학술대회논문집

1988 .01

변형조명계와 감쇠형 위상반전마스크 ( Attenuated Phase Shifting Mask ) 를 조합한 Sub-Quarter Micron Contact Hole 패턴의 형성

계종욱 ,  김형준 ,  우상균 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

불 마스크와 산술 마스크에 대한 게이트 레벨 변환기법

백유진

전자공학회논문지-SD

2009 .11

새로운 전광 OR 논리 게이트

변영태 ,  김재헌 ,  전영민 외 3명

한국통신학회 기타 간행물

2001 .10

규칙에 기초한 마스크 레이아웃 변환 시스템의 설계 및 구현 ( Design and Implementation of Rule-based Mask Layout Transformation System )

이재황 ,  전주식

전자공학회논문지-A

1993 .09

소프트 리소그래피 기술

신영재 ,  이응숙 ,  정준호

기계와 재료

2002 .01