미해상회절 마스크 광리소그레피를 이용한 T-형 패턴 게이트 형성기술 ( T-shaped Gate Metal Formation by using Optical Lithography Technique with Dummy Diffraction Mask )

박병선 ,  오용호 ,  양전욱 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1995 .11

위상변환 마스크 리소그래피에 의한 0.15 ㎛ T-형 게이트 형성방법

박병선 ,  김일광 ,  이진희 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1996 .11

T-형 게이트 패턴 형성을 위한 포토마스크 구조 및 리소그래피 공정

박병선 ,  오용호 ,  정해빈 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1995 .01

위상변환 마스크 리소그래피에 의한 0.15μm T-형 게이트 형성방법 ( The Formantion of 0.15μm T-Shaped GAte By Phase Shift Mask Using A New Optical Lithograpic Technique )

박병선 ,  김일광 ,  이진희 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1996 .11

상변화 마스크를 이용한 나노 리소그래피에 관한 연구

성중현 ,  김민수 ,  정명기 외 1명

한국소성가공학회 학술대회 논문집

2018 .05

대면적 나노구조 패턴 제작을 위한 레이저 간섭 리소그래피 기술을 활용한 가간섭성 회절 기술에 관한 연구

김상민 ,  박창수 ,  이준상 외 1명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2019 .11

롤타입 마스크를 이용한 연속 포토리소그래피 기술과 그 응용

곽문규

대한기계학회 논문집 B권

2012 .10

157nm 광리소그래피 위상변위 마스크용 Si-O-N-F 박막의 특성연구

김성관 ,  김형도 ,  김정민 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

미세 패턴 형성을 위한 위상 반전 마스크 연구 ( Alternating Phase Shift Mask for Sub-0.25 mm Lithography )

김희범 ,  안창남 ,  백기호

대한전자공학회 워크샵

1996 .01

광리소그래피 위상변위 마스크를 위한 Si-O-N-F 박막의 모사연구 및 특성분석

최은철 ,  김성관 ,  노광수 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

광리소그래피에서 최적 모양의 패턴 구현을 위한 포토마스크 역설계 ( Reverse Design of Photomask for Optimum Fidelity in Optical Lithography )

이재철 ,  오용호 ,  임성우

전자공학회논문지-D

1997 .12

광리소그래피에서 최적 모양의 패턴 구현을 위한 포토마스크 역설계 ( Reverse Design of Photomask for Optimum Fidelity in Optical Lithography )

오용호 ,  임성우 ,  이재철

대한전자공학회 학술대회

1996 .11

광리소그래피에서 최적 모양의 패턴 구현을 위한 포토마스크 역설계

오용호 ,  이재철 ,  임성우

대한전자공학회 학술대회

1996 .11

광굴절 결정의 회절효율 특성을 이용한 광 논리 게이트 ( Optical Logic Gate Using Diffraction Efficiency Characteristics of Photorefractive Crystal )

김정회 ,  안준원 ,  김남 외 3명

한국통신학회 광전자공학 학술회의

1998 .01

광굴절 결정의 회절효율 특성을 이용한 광 논리 게이트 ( Optical Logic Gate Using Diffraction Efficiency Characteristics of Photorefractive Crystal )

김정회 ,  안준원 ,  김남 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

Metal-hydrogel composite microcantilever humidity sensors fabricated by dynamic mask lithography

이보라 ,  김석범 ,  윤여원 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2017 .05

광섬유 브래그 격자용 위상 마스크에 의한 회절 및 간섭 패턴 해석 ( Analysis of Diffraction and Interference Pattern from Phase Mask for Fiber Bragg Grating )

유봉안 ,  이병호 ,  변재오 외 1명

한국통신학회 광전자공학 학술회의

1998 .01

광섬유 브래그 격자용 위상 마스크에 의한 회절 및 간섭 패턴 해석 ( Analysis of Diffraction and Interference Pattern from Phase Mask for Fiber Bragg Grating )

유봉안 ,  이병호 ,  변재오 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

New Developments in 1 : 1 Optical Lithography

Hwan J. Jeong ,  Dave Ma ,  kle

대한전자공학회 워크샵

1991 .01

소프트 리소그래피 기술 동향

신영재 ,  조정대 ,  이응숙

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2003 .04