미세 가공 시스템에서 분무특성이 에칭특성에 미치는 영향에 관한 연구

정지원; 김덕줄

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자료유형: 학술저널

저자정보: 정지원 김덕줄

저널정보: 대한기계학회 대한기계학회 논문집 B권 대한기계학회논문집 B권 제28권 제1호

발행연도: 2004.1

수록면: 109 - 117 (9page)

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The objective of this study is to investigate the effect of the spray characteristics on the etching characteristics for the optimization of etching process in the micro fabrication industry. The etching characteristics such as etching rate and etching factor were investigated under different etching conditions. To compare with the etching characteristic, the spray characteristics such as droplet size and velocity were measured by PDA system. The etching rate was increased in case of high spray pressure and in the region of spray center. The etching factor was increased with decrease in the distance from nozzle tip and increase in the etchant temperature. It was found that the spray characteristics were correlated with the etching characteristics.

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[학술지(정기간행물)] - / 2002 / Simulation of the Spray Coating Process Using a Pneumatic Atomizer

[학술지(정기간행물)] - / 1998 / Drop Size and Velocity Measurement in an Electrostatic Producted Hydrocarbon Spray 120 : 580 ~ 585

[학술지(정기간행물)] - / 2000 / Effects of Formulation on Spray Nozzle Performance for Applications from Ground-Based Boom Sprayers : 609 ~ 615

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