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Optimized Process Analysis of SiO₂ etch using CFD Simulation
대한전자공학회 학술대회
2017 .01
Lead-Frame 에칭공정에서 몬테카를로 시뮬레이션을 이용한 에칭특성 예측
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2006 .01
미세 가공 시스템에서 분무특성이 에칭특성에 미치는 영향에 관한 연구
대한기계학회 논문집 B권
2004 .01
The Precision of Lead Frame Etching Characteristics Using Monte-Carlo Simulations
International Journal of Precision Engineering and Manufacturing
2007 .01
통계적 기법을 이용한 에칭공정의 시뮬레이션
대한기계학회 춘추학술대회
2004 .11
Spi Wet etching 공정을 이용한 마이크로 Dot 패턴 Etching 공정 최적화 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2006 .10
에칭시스템에서 요동각 변화에 따른 에칭특성 시뮬레이션
대한기계학회 춘추학술대회
2004 .04
고밀도 광기록을 위한 GeSbTe 박막의 Wet-Etching 특성연구
정보저장시스템학회논문집
2006 .01
Etch의 기술 개발 및 Etch와 Lithography 기술 시장 동향
전자공학회지
2013 .12
Lead-Frame 에칭공정에서 분무특성을 이용한 에칭특성의 예측
대한기계학회 논문집 B권
2006 .04
모바일 디스플레이용 유리 기판의 미 식각부 두께 최소화를 위한 습식식각 공정조건 최적화
한국기계기술학회지
2015 .01
Characteristics of Ag Etching using Inductively Coupled Halogen-based Plasmas
한국정보디스플레이학회 International Meeting
2002 .01
DRY ETCHING TECHNOLOGY
ICVC : International Conference on VLSI and CAD
1995 .01
Study of Self-Limiting Etching Behavior in Wet Isotropic Etching of Silicon
International Conference on Electronics, Informations and Communications
1998 .01
기판의 왕복 운동을 이용한 인라인 식각세정장치 내 ITO 식각특성
전기전자재료학회논문지
2008 .01
Organic Acid-Based Wet Chemical Etching of Amorphous Ga-Doped Zinc Oxide Films on Glass and PET substrates
한국정보디스플레이학회 International Meeting
2009 .01
ICP 식각 시스템에 의한 초전도 스트립 라인의 임계 특성 분석
전기전자재료학회논문지
2004 .01
Reactive Ion Etching 방법에 의한 Silicon 의 Deep Groove Etching ( Deep Groove Etching of Silicon by Reactive Ion Etching )
대한전자공학회 학술대회
1985 .01
Reactive Ion Etching 방법에 의한 Silicon의 Deep Groove Etching
대한전자공학회 학술대회
1985 .06
Experimental Study on Spray Etching Process in Micro Fabrication of Lead Frame
Journal of Mechanical Science and Technology
2004 .12
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