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대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 대한전자공학회 종합 학술 대회 논문집 (하계) 1999 Vol.22 No.1
발행연도
1999.6
수록면
942 - 945 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

1999

쌍극성표동 효과와 이체충돌효과를 고려한 ICP(Inductive Coupled Plasma) 3차원 식각
이영직 ,  이강환 ,  이주율 외 4명 대한전자공학회 학술대회 1999.11 학술대회자료
초미세 공정에 적합한 ICP(Inductive Coupled Plasma) 식각 알고리즘 개발 및 3차원 식각 모의실험기 개발
이영직 ,  박수현 ,  송명식 외 3명 대한전자공학회 학술대회 1999.06 학술대회자료

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목차

Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 본론
Ⅲ. 식각모의실험을 위한 새로운 알고리즘
Ⅳ. 시뮬레이션 결과 및 분석
Ⅴ. 결론
참고문헌

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