폴리사이드 구조에서 dual 게이트 산화막에 대한 공정특성 연구 ( A Study on the process characteristics of polycide based dual gate oxidation )

엄금용 ,  노병규 ,  김종규 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1998 .07

폴리사이드 구조에서의 게이트 산화막에 대한 공정특성 개선에 관한 연구 ( A Study on the Process Characteristics Approvement of Polycide Based Gate Electrode )

엄금용 ,  홍성표 ,  노병규 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

폴리사이드 구조에서의 게이트 산화막에 대한 공정특성 개선에 관한 연구

엄금용 ,  홍성표 ,  노병규 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

니켈 폴리사이드 게이트 전극 형성에 관한 연구

정연실 ,  김시중 ,  김주연 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

텅스텐 폴리사이드 전극에 따른 게이트 산화막의 내압 특성 ( Breakdown Characteristics of Gate Oxide with Tungsten Polycide Electrode )

정회환 ,  이종현 ,  정관수

전자공학회논문지-A

1996 .12

코발트 폴리사이드 게이트 전극 형성

심현상 ,  구본철 ,  배규식

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

MOS 소자에서 Titanium 폴리사이드 게이트에 의한 산화막 열화 ( Thin Oxide Degradation by Titanium-Polycide Gate in MOS Device )

박진성 ,  이우성 ,  정동진 외 7명

전자공학회논문지-A

1992 .12

W-Polycide Gate Etch 공정에 관한 연구 ( Development of W-Polycide Gate Etch Process )

신철호 ,  이정길 ,  안태혁 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

SADS 법으로 형성한 코발트 폴리사이드 게이트의 전기적 특성

정연실 ,  구본철 ,  김시중 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

코발트 실리사이드를 도판트 소스로 이용한 폴리사이드 게이트의 전기적 특성

정연실 ,  김시중 ,  김주연 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

An Improved Process for the Significant Reduction of Polycide-to-Polycide Contact Resistance

Ki Sang Kim ,  Ji Chul Shin ,  Yun Seung Shin 외 1명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1995 .01

Ti-polycide gate의 gate oxide 신뢰성의 limitation 연구

이내인 ,  김영욱 ,  고종우 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

RTP에 의한 W-Polycide막 특성

張宜久 ,  金昌日 ,  金泰亨 외 2명

전기학회논문지

1991 .11

산화 분위기에 따른 게이트 산화막의 전기적 특성 분석

정회환 ,  김동식 ,  정관수

대한전자공학회 학술대회

1993 .11

산화 분위기에 따른 게이트 산화막의 전기적 특성 분석 ( An Analysis of Electrical Characteristics of Gate Oxides by Oxidation Ambience )

정회환 ,  김동식 ,  정관수

대한전자공학회 학술대회

1993 .11

텅스텐 폴리사이드를 이용한 게이트 산화막의 절연특성 개선에 관한 연구 ( A Study on the Dielectric characteristics improvement of gate oxide using tungsten policide )

엄금용 ,  오환술

전자공학회논문지-D

1997 .06

폴리사이드 형성 조건에 따른 WSi_x 박막 특성에 관한 연구

鄭陽喜 ,  姜聲俊 ,  金京元

전기학회논문지 C

2003 .09

Emission Characteristics of Gated Mo-Polycide Field Emitter Arrays

우형수 ,  권상직 ,  박병국 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

게이트폴리의 재결정화에 기인한 얇은 게이트 산화막의 열화에 관한 연구

봉칠근 ,  신동호 ,  이원식 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

A STUDY ON THE UNSTABILITY OF CONTACT RESISTANCE IN W(tungsten) POLYCIDE BIT LINE TO W POLYCIDE WORD LINE CONTACT

Pa ,  k ,  S.W. 외 8명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01