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저자정보
조선 (성균관대학교) 이승호 (성균관대학교) 고한서 (성균관대학교)
저널정보
한국가시화정보학회 한국가시화정보학회 학술발표대회 논문집 2015년도 한국가시화정보학회 추계학술대회
발행연도
2015.12
수록면
179 - 183 (5page)

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High quality and productivity are main subjects in semiconductor industries. Especially, the quality is emphasized on a furnace tool. The temperature control is a critical factor for the quality of a device. A furnace model was selected in this study to analyze heat trnasfer mechanism in an ATM process. Mathematical analysis and thermodynamic assumptions were used to evaluate paths of the furnace energy transfer. Accuracy of 97% was obtained by the numerical analysis using an ANSYS simulator.
#ATM process(상압공정) #furnace model(로 모델) #heat transfer(열 전달) #semiconductor manufacturing(반도체 생산)

목차

Abstract
1. 서론
2. Furnace 장비 열전달 Model과 가정
3. 열전달의 수치적 해석 결과와 가시화
4. 결론
참고문헌

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