Reactions between silicon precursors and surface sites during atomic layer deposition of silicon nitride

Luchana L. YUSUP ,  Jae-Min PARK ,  Ti 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Formation of Graphene-Seeds on Silicon Nitride Using Chemical Vapor Deposition

강도연 ,  박세근 ,  이준영 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

전기역학시스템 기반 고분해능 그래핀 질량센서

신동훈 ,  김정현 ,  윤주희 외 3명

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2017 .02

Effect of plasma properties on characteristics of silicon nitride film deposited by PECVD process at low temperature

Jeon G. HAN ,  Jun S. LEE ,  Bibhuti B. SAHU 외 3명

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2016 .08

Low-temperature PECVD silicon nitride film for the fabrication of capacitance type pressure sensor

Kyeong-Keun CHOI ,  Kee JONG ,  Jeong-Yoon LEE 외 1명

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2016 .08

Silicon oxide 두께에 따른 온도센서의 특성분석

유태균 ,  박준희 ,  장문규

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2018 .08

Silicon Nanocrystals Synthesized from Silicon Tetrachloride Using Electron Beam Reduction Reaction

Don-Sung Lee ,  Hyun Suk Kang ,  Ye-Seul Koh 외 2명

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2015 .02

An easily accessible method for DNA immobilization on silicon surfaces

트란티중 ,  호앙힙 ,  김문일

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2017 .08

Boron Detection Technique in Silicon Thin Film Using Dynamic Time of Flight Secondary Ion Mass Spectrometry

M. Abul Hossion ,  B ,  ij M. A 외 2명

Mass Spectrometry Letters

2021 .03

Correlation Analysis of Plasma Properties and Film Properties using Optical Emission Spectroscopy in Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Processes of Silicon Nitride

Seunghun Han ,  Byung hyun Oh ,  Heeyeop Chae

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2020 .08

Correlation Study between Optical Emission Spectroscopy Signals and Silicon Nitride Film Properties in Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Processes

Seunghun Han ,  Sun Jung Kim ,  Heeyeop Chae

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2020 .02

Prediction of Silicon Nitride Film Properties by the Analysis of Optical Emission Spectroscopy Signals in Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Processes

Sun Jung Kim ,  Seunghun Han ,  Heeyeop Chae

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2020 .02

Contact block copolymer technique을 이용한 실리콘 나노-필라 구조체 제작방법

김두산 ,  김화성 ,  박진우 외 2명

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2015 .08

Influence of additive and current condition in Through Silicon Via(TSV) filling

신세희 ,  박정호 ,  김태유 외 7명

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2017 .02

Passivation Properties of Hydrogenated Silicon Nitrides deposited by PECVD

Jae Eun Kim ,  Kyung Dong Lee ,  Yoonmook Kang 외 2명

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2016 .02

Dopant concentration dependent resistive switching characteristics in silicon nitride-based memory devices

Sungjun KIM ,  Min-Hwi KIM ,  Tae-Hyeon KIM 외 5명

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2016 .08

Quantitative control of the surface chemistry of magnetron-deposited silicon nitride etched with various wet treatments

Ma ,  ine BRUNET ,  Damien AUREAU 외 7명

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2016 .08

Synthesis of nano-silicon and graphite hybrid using radio frequency-thermal plasma

Kyu-Hang LEE ,  Myoung-Sun SHIN ,  Soon-Jik LEE 외 4명

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2016 .08

Characterization of PECVD SiN silicon photonics waveguide material for optical micro-ring resonator

Seokyeon HWANG ,  Minhee LEE ,  Sungchul KIM 외 1명

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2016 .08

고주파 (162 MHz) 분할전극 플라즈마 소스를 이용한 저수소 함량의 Silicon nitride (SiNx) 박막증착 및 PEALD 공정에 관한 연구

이승엽 ,  변지영 ,  김기석 외 3명

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2019 .08