Effect of plasma properties on characteristics of silicon nitride film deposited by PECVD process at low temperature

Jeon G. HAN ,  Jun S. LEE ,  Bibhuti B. SAHU 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Silicon Thin-film Solar Cell Deposited by Using High Working Pressure Plasma-enhanced Chemical Vapor Deposition System

권정대 ,  남기석 ,  김동호

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

Enhanced Light trapping Approaches utilizing ICP-RIE dry etching for high efficiency P-I-N Thin-Film Silicon Solar Cells

김명준 ,  김정수 ,  신동기 외 2명

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2018 .02

Passivation Properties of Hydrogenated Silicon Nitrides deposited by PECVD

Jae Eun Kim ,  Kyung Dong Lee ,  Yoonmook Kang 외 2명

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2016 .02

Effect of layer deposition sequence for the cell characteristics of amorphous silicon thin film solar cells

Hyeonsung Kim ,  Junhee Jung ,  Junsin Yi

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2015 .02

Low-temperature PECVD silicon nitride film for the fabrication of capacitance type pressure sensor

Kyeong-Keun CHOI ,  Kee JONG ,  Jeong-Yoon LEE 외 1명

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2016 .08

Boron, Nitrogen doping에 따른 amorphous carbon layer 분석연구

정원준 ,  Rauf Shahzad ,  신재수 외 4명

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2015 .02

Water vapor barrier properties of polymer-like amorphous carbon deposited polyethylene naphthalate film

김정용 ,  박규대 ,  송예슬 외 3명

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2016 .02

Dopant에 따른 amorphous carbon layer의 etch rate 변화 분석연구

정원준 ,  김동빈 ,  박상현 외 7명

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2015 .08

A Study on Blister Formation and Electrical Characteristics with Varied Annealing Condition of P-doped Amorphous Silicon

최성진 ,  김가현 ,  강민구 외 3명

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2016 .02

PECVD Synthesis of WS₂ for Hydrogen Evolution Catalysis

Kanade Vinit ,  Hyeong-U Kim ,  Seokjun Hong 외 1명

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2020 .02

Stabilization of Real-time Thickness monitoring system in PECVD chamber

이철 ,  황혜주 ,  박상호 외 6명

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2017 .08

Environmental reliability and barrier properties of SiOx, SiNx thin film by roll-to-roll PECVD system

Won Jae Lee ,  Tae-Yeon Cho ,  Sung-Hoon Choa 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08

Synthesis of SiNx:H films in PECVD using RF/UHF hybrid sources

K. S. Shin ,  B. B. Sahu ,  J. S. Lee 외 3명

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2015 .08

VHF-PECVD for a-Si:H and a-SiN:H Film Deposition

Jin Seok Kim

Applied Science and Convergence Technology

2019 .09

Investigation on solid-phase crystallization of amorphous silicon films

김현호 ,  지광선 ,  배수현 외 6명

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2016 .02

Low Temperature PECVD for SiOx Thin Film Encapsulation

Hyung June Ahn ,  Sang Heon Yong ,  Sun Jung Kim 외 2명

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2016 .02

ICP-RIE를 이용한 SiO₂ 나노패턴 제조 공정 연구

권민성 ,  정다운 ,  김춘근 외 3명

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2018 .08

Raman characterization of P-doped epitaxial silicon thin films

Minhyeong LEE ,  Juhee LEE ,  Eunjung KO 외 1명

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2016 .08

Reactions between silicon precursors and surface sites during atomic layer deposition of silicon nitride

Luchana L. YUSUP ,  Jae-Min PARK ,  Ti 외 5명

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2016 .08