Effect of Hydrogen Peroxide and Oxalic Acid on Material Removal in Al CMP

정진엽 ,  이현섭 ,  이다솔 외 1명

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2017 .05

입자유동 CMP 가공에서 옥살산이 가공 결과에 미치는 영향

김태경 ,  서준영 ,  손준규 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2019 .05

Surface Modified Silica Nanoparticles with Chelating Agents for CMP Applications

김민정 ,  김태동 ,  김윤 외 1명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2023 .04

옥살산 기반의 비소오염토양 정화 연구

이명은 ,  전은기 ,  김종국 외 1명

지하수토양환경

2018 .01

니켈 CMP 에서 툴마크 제거를 위한 화학첨가제에 따른 영향

이기훈 ,  정선호 ,  김현진 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2018 .05

CMP 장비의 초 고압(800g/cm²) 조건에서 구조 특성에 관한 연구

김요한 ,  이창우

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2015 .12

LED 반사판용 알루미늄의 CMP에 관한 연구

정진엽 ,  정해도 ,  이현섭 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2016 .05

화학기계적 연마(CMP) 공정에서의 트라이볼로지 연구 동향

이현섭

Tribology and Lubricants

2018 .06

고분자 결함 구조에 따른 CMP pad의 표면 형상 및 CMP 성능 변화 연구

서장원 ,  윤성훈 ,  정은선 외 2명

한국트라이볼로지학회 학술대회

2019 .04

신경망을 이용한 SiO₂ CMP의 재료제거율 예측

하인철 ,  김승우 ,  이승민 외 3명

한국트라이볼로지학회 학술대회

2024 .10

LiTaO₃ 기판 CMP 슬러리 내 킬레이트제에 관한 연구

이현섭

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2023 .05

사파이어 CMP에서의 연마모델에 관한 연구

이현섭 ,  이다솔

대한기계학회 춘추학술대회

2017 .11

Common-path Optical Interferometry for On-site Measurement of CMP Pad Surface

W. J. Choi

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2021 .05

The Applicability of pH Measurement as an Indicator for Estimation of Oxalic Acid Concentration

Kim ,  Jin-Hee ,  Lee 외 5명

한국방사성폐기물학회 학술대회

2018 .01

Recovery of Zinc in Spent Pickling Solution with Oxalic Acid

Lee ,  Kyung-Ran ,  Kim 외 3명

화학공학

2017 .01

구리 후막용 CMP 슬러리의 환경 영향 평가

이현섭

한국트라이볼로지학회 학술대회

2016 .10

Table Unit 회전에 의한 CMP System 변형 해석

김요한 ,  이창우

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2015 .05

전해 이온화 슬러리를 이용한 CMP에서 전극 소재에 따른 마찰 특성

이현섭 ,  조예진 ,  김용훈 외 1명

한국트라이볼로지학회 학술대회

2022 .04

옥살산 전해액에서 양극산화 조건 변화에 따른 알루미늄 산화 피막 특성

박지현 ,  김상준 ,  전윤남 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2020 .06

CMP 패드의 홈의 크기가 점탄성에 미치는 영향

정경우 ,  정선호 ,  이동환 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2019 .10