Fabrication of thin film encapsulation via iCVD and ALD & its application on organic photovoltaics

김봉준 ,  한동근 ,  김도흥 외 1명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2015 .04

The fabrication of an organic encapsulation film by one-step process using Initiated Chemical Vapor Deposition (iCVD)

석지후 ,  김성희 ,  조해명 외 2명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2016 .04

기류해석을 통한 ICVD 챔버 최적화

이효성 ,  이정헌 ,  곽재복

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2019 .04

Highly Efficient Immobilization of Antimicrobial Peptide on Non-Conventional Surfaces Via Initiated Chemical Vapor Deposition (Icvd)

Sang Hyun KIM ,  Gu Min JEonG ,  Hye Jeong SEonG 외 4명

한국생물공학회 학술대회

2017 .04

박막공정 최적화를 위한 ALD Chamber 내부 열유동 해석

이승헌 ,  송동근 ,  김정수 외 4명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2023 .11

멀티 슬릿 ALD 헤드를 이용한 저온·상압 원자층 박막 증착 공정 기술 개발

김현범 ,  이재욱 ,  양성욱 외 2명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2017 .04

지속가능한 반도체 ALD 공정챔버의 가스유동장 수치해석

유경훈 ,  송근수 ,  김춘식 외 4명

대한설비공학회 학술발표대회논문집

2023 .06

환경 센서의 Encapsulation 을 위한 공간분할형 원자층 증착 시스템에 관한 연구

이재욱 ,  김현범 ,  양성욱 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .12

OLED Barrier와 Encapsulation을 위한 원자층 증착 Polymer / Al₂O₃ 다층 필름의 온습도 신뢰도 평가 분석

이사야 ,  송윤석 ,  김현 외 1명

반도체디스플레이기술학회지

2017 .01

반도체 ALD 공정챔버의 마이크로 공정갭 가스유동장 설계

유경훈 ,  송근수 ,  김춘식 외 4명

대한설비공학회 학술발표대회논문집

2024 .06

Surface treatment on the dielectric layer of organic thin film transistors via initiated chemical vapor deposition (iCVD)

박관용 ,  성혜정 ,  임성갑

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2015 .04

Fabrication of Flexible Composite Thin Encapsulation Film

탁소현 ,  이혜수 ,  유재웅

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2022 .10

ALD enabled Functional Nano Thin Films for Improved Performance of Energy Devices

권세훈

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2020 .06

MoS₂ Transistors with iCVD-Grown Copolymer Gate Dielectrics

김민제 ,  최용석 ,  석지후 외 2명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2018 .04

OLED의 Barrier와 Encapsulation을 위한 원자층 증착 기술로 공정된 Al₂O₃/TiO₂/Al₂O₃ 다층 필름

이사야 ,  송윤석 ,  김현 외 1명

반도체디스플레이기술학회지

2017 .01

차세대 인터커넥션 적용을 위한 ALD Ru 금속 박막의 비저항 변화 연구

조인호 ,  이승훈 ,  황해인 외 2명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2024 .07

라인형 플라즈마 소스를 이용한 ALD 공정 연구

권기청 ,  조태훈 ,  최진우 외 3명

반도체디스플레이기술학회지

2016 .01

Single Layer Composite Encapsulation Film with Moisture Absorbent

이혜수 ,  유재웅

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2023 .10

박막공정 개선을 위한 ALD Chamber 의 Showerhead 구조 최적화

이승헌 ,  송동근 ,  김정수 외 4명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2024 .11

Atomic Layer Deposition for Electrochemical Applications

이우재 ,  Susata Be ,  aa 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2021 .06