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유경훈 (한국생산기술연구원) 송근수 (금영이엔지) 김춘식 (티엔지) 황준영 (한국생산기술연구원) 이혜진 (한국생산기술연구원) 이상호 (한국생산기술연구원) 이건형 (삼성디스플레이)
저널정보
대한설비공학회 대한설비공학회 학술발표대회논문집 대한설비공학회 2024년도 하계학술발표대회 논문집
발행연도
2024.6
수록면
1,159 - 1,162 (4page)

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In order to develop a sustainable ALD processing cluster tool, it is necessary to establish a manufacturing technology for a high-productivity, high-efficiency ALD process chamber that resolves the intrinsic excessive consumption of energy and materials. In the present study, as the part of countermeasure to the excessive consumption, a micro-gap ALD processing chamber is considered for the optimized design. The changes in the flow field of nitrogen in the process space of the processing chamber with the gap sizes of 1 mm and 10 mm respectively were observed at 400 ℃, utilizing computational fluid CFD numerical analysis. For the present nitrogen flow field with a background pressure of 1 Torr and a temperature of 400 ℃, the Knudsen number Kn=0.223 and Reynolds number Re=1.474<<2300 were evaluated. Consequently the continuity, momentum and energy equations of a steady-state compressible laminar flow field were considered.
#ALD processing chamber(ALD 공정챔버) #Processing gap(공정갭) #Nitrogen gas flow field(질소가스 유동장) #Sustainability(지속가능성) #마이크로채널유동(Micro-channel flow)

목차

Abstract
1. 서론
2. 연구 방법
3. 결과 및 검토
4. 결론
References

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