미세게이트용 폴리실리콘의 쾌속 열처리에 따른 표면조도 변화

송오성; 김상엽

추천

검색

질문

자료유형: 학술저널

저자정보: 송오성 김상엽

저널정보: 한국산학기술학회 한국산학기술학회 논문지 한국산학기술학회논문지 제6권 제3호

발행연도: 2005.6

수록면: 261 - 264 (4page)

이용수

📌

연구주제

📖

연구배경

🔬

연구방법

🏆

연구결과

초록· 키워드

오류제보하기

90 ㎚급 게이트로 활용되는 폴리실리콘올 패턴화 하기 위해서 하드 마스크의 채용 등 신공정과 함께 폴리실리콘 자체의 평탄화가 필요하다. 본 연구는 70 ㎚ 두께의 LPCVD 폴리설리콘 게이트를 상정하여 열산화막 상부에 기판 전면을 폴리실리콘으로 만들고 쾌속열처리 온도를 달리해가며 40 초간 열처리하여 이때의 표면조도의 변화를 광발산 주사전자현미경(FESEM)과 주사탑침현미경(AFM)으로 확인하였다. 폴리실리콘은 700℃-l100℃온도범위에서 표면 응집효과에 의해 고온에서 표면조도가 급격히 증가하는 경향이 있었으며 700℃-40 sec 조건에서 최적 평탄화 효과가 가능하였다.

#RTA annealing #Surface roughness #Poly silicon #90 nm-gate #Planarization

참고문헌 (6)

참고문헌 신청

[학술지(정기간행물)] - / 2003. / Front End Process

[학술지(정기간행물)] - / 2004. / Design of a tri-layer bottom anti-reflectivecoating for KrF, ArF and F2 lithographies 73-74 : 59 ~ 62

[학술지(정기간행물)] - / 1996. / Chemical-mechanical polishing of SiO2 thin films studied byX-ray reflectivity 280 : 37 ~ 42

[학술지(정기간행물)] - / 2000. / Effect of oxideand W-CMP on the material properties and electromigrationbehaviour of layered aluminum metallisatio 50 : 291 ~ 299

[학술지(정기간행물)] - / 2004. / 코발트/니켈 복합실리사이드의 실리사이드온도에 따른 면저항과 미세구조 변화 14 : 389 ~ 393

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

송오성

소속기관 서울시립대학교

주요연구분야 공학 > 공학 일반

논문수 49 이용수 1,044

김상엽

소속기관 한국산학기술학회

주요연구분야 공학 > 공학 일반

논문수 8 이용수 186

최근 본 자료

전체보기

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2018-505-001136117

구분	그룹	데이터 항목
AI 학습용 데이터	원문	원문 PDF 파일
AI 학습용 데이터	원문 + 메타 (기본/상세)	원문 PDF 파일 및 서지정보 CSV
대량 구매용 데이터	B2B 구독 방식	특정 자료 한정으로 원문 접근 권한 부여
대량 구매용 데이터	URL 전달 방식	바로 PDF 뷰어를 열람할 수 있는 URL 제공

구분	그룹	데이터 항목
AI 학습용 데이터	기본 메타	발행기관명, 간행물명, 권호명, 권(vol), 호(issue), 통권, 발행연도, 발행월, 논문명, 저자명, 시작페이지, 종료페이지, 전체페이지, 상세페이지URL
상세 메타 데이터	발행기관 메타	발행기관 이명, 영문명, 창립연도, 홈페이지URL, 발행기관 소개
	간행물 메타	부제목, 간행물 유형, ISSN, ISBN, 최초발행연도, 폐간연도, 간행빈도, 발행주기, 등재사항, 이용수, 피인용수, 권호수, 논문수, 표지이미지
	논문 메타	작성 언어, 부제목, 대등제목, 목차, 키워드, 초록, 이미지, 참고문헌, 이용수, 피인용수, 논문활용도, DBpia통합주제분류, KDC분류, DDC분류, 한국연구재단분류, UCI, DOI
	저자 메타	소속기관, 소속부서, 직급, 연구분야, 연구키워드, 이용수, 피인용수, 저자 논문활용도

구분	그룹	데이터 항목
※ 결합형/맞춤형 메타 데이터는 신청 내용에 따라 다양하게 제공 가능
이용순위 정보	주제분야별 많이 이용된 논문	“인문학”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	이용기관별 많이 이용된 논문	“중고등학교”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	세부기관별 많이 이용된 논문	“서울대학교”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	키워드별 많이 이용된 논문	“Chat GPT”에서 많이 이용된 논문 TOP100
키워드 정보	많이 이용된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 이용된 키워드
	많이 발행된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 발행된 키워드
	많이 검색된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 검색된 키워드
	연구 트렌드 키워드	특정 키워드 연관 연구동향 분석 데이터 키워드

논문 기본 정보

초록· 키워드

AI 요약

연구주제

연구배경

연구방법

연구결과

주요내용

목차

참고문헌 (6)

함께 읽어보면 좋을 논문

이 논문의 저자 정보

최근 본 자료

댓글(0)