티타니움 실리사이드 박막의 열안정성에 미치는 기판 실리콘막의 영향

김영욱 ,  이내인 ,  고종우 외 4명

한국재료학회지

1993 .01

Poly-Si/$SiO_2$/Si 기판위에 증착된 코발트실리사이드의 전기적 특성

노영규 ,  장호정

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

$Al_2O_3$/si 기판위에 형성한 (Bi,La)$Ti_3O_{12}$ 박막의 특성

황선환 ,  장호정 ,  장영철

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

박막 패턴에 의한 기판의 응력 거동

남명우 ,  홍순관

한국산학기술학회 논문지

2020 .01

인이 주입된 poly-Si/SiO2/Si 기판에서 텅스텐 실리사이드의 형성에 관한 연구 ( Study on Formation of W-Silicide in the Doped-Phosphorus poly-Si/SiO2/Si-Substrate )

정회환 ,  주병권 ,  오명환 외 1명

전자공학회논문지-A

1996 .03

Fabrication of the Poly-Si Thin Film Transistor on the Mica Substrate

Lee ,  Seung-Ryul ,  Lee 외 3명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2006 .01

불순물이 주입된 Poly-Si / Single-Si 기판에서 TiSi2 형성시 Dopants의 거동 ( The Behavior of Dopants During the Formation of TiSi2 in the Poly-Si/Single-Si Substrate with Implanted Impurities )

황유상 ,  김동원 ,  문환구 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1991 .01

불순물이 주입된 Poly-Si/Single-Si 기판에서 TiSi2 형성시 Dopants의 거동 ( The Behavior off Dopants During the Formation of TiSi2 in the Poly-Si/Single-Si Substrate with Implanted Impurities )

최진석 ,  황유상 ,  강성건 외 5명

전자공학회논문지-A

1991 .12

플라스틱 기판위에 엑시머 레이저 열처리된 저온 다결정 실리콘 박막 트랜지스터

최광남 ,  곽성관 ,  김동식 외 1명

전자공학회논문지-IE

2006 .06

폴리실리콘 박막의 미소인장 시험

이상주 ,  배종성 ,  한승우 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2008 .06

미세게이트용 폴리실리콘의 쾌속 열처리에 따른 표면조도 변화

송오성 ,  김상엽

한국산학기술학회 논문지

2005 .06

실리콘 기판의 표면 형상에 따른 실리콘 이종접합 태양전지의 a-Si:H/c-Si 계면 특성 연구

강병준 ,  탁성주 ,  강민구 외 3명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2009 .06

폴리락틱산의 결정화 거동에 관한 연구

천상욱 ,  강호종 ,  김영하 외 1명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

1997 .10

반응성 CVD를 이용한 다결정 실리콘 기판에서의 $CoSi_2$ layer의 성장거동과 열적 안정성에 관한 연구

김선일 ,  안병태

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

레이저 열처리된 다결정 실리콘 기판을 이용한 쇼트키 다이오드의 제작 및 그 전기적 특성에 관한 연구 ( A Study on the Fabrication and Its Electrical Characteristics of the Schottky Diodes on the Laser Annealed Poly-Si Substrate )

김재영 ,  강문상 ,  구용서 외 1명

전자공학회논문지-A

1996 .04

자연 산화막과 엑시머 레이저를 이용한 poly-Si/a-Si 이중 박막 다결정 실리콘 박막 트랜지스터

朴基燦 ,  朴辰雨 ,  鄭湘勳 외 1명

전기학회논문지 C

2000 .01

Poly-Si의 성장 기구와 제특성

김상욱 ,  박종욱 ,  천영일 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1991 .07

실리콘이 함유된 비정질 탄소박막의 잔류응력 거동 전산모사

이승협 ,  이승철 ,  정용재 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2005 .05

유리 ∥실리콘 기판 직접 접합에 대한 연구

민홍석 ,  주영창 ,  송오성 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2000 .05