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Defect Passivation of PVD-based Hard Coatings vis ALD for improving Corrosion and Mechanical Properties
한국트라이볼로지학회 학술대회
2022 .04
표면 반응 제어를 통한 영역 선택적 원자층 증착법 연구 동향
한국표면공학회지
2022 .12
Atomic Layer Deposition for Electrochemical Applications
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2021 .06
[스웨즈락] 최적의 밸브로 ALD 공정의 정확성 및 일관성 개선하는 방법
전자기술
2023 .04
원자층 증착법을 이용한 폴리머 전해질 교환막 연료전지 소재 연구 동향
한국표면공학회지
2025 .02
분말 코팅을 위한 원자층 증착법
한국분말야금학회지
2019 .01
ALD 공정에서의 플라즈마 응용
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2015 .05
멀티 슬릿 ALD 헤드를 이용한 저온·상압 원자층 박막 증착 공정 기술 개발
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2017 .04
R2R 기반 공간분할형 원자층 증착(ALD) 시스템에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .10
차세대 인터커넥션 적용을 위한 ALD Ru 금속 박막의 비저항 변화 연구
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2024 .07
ALD enabled Functional Nano Thin Films for Improved Performance of Energy Devices
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2020 .06
Study on the Nanoscale Behavior of ALD Pt Nanoparticles at Elevated Temperature
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2016 .08
Bandgap Control of Sn1-xMgxO Semiconductor Thin Film by MgO Cycle Ratio Control in Atomic Layer Deposition Method
AFORE
2023 .11
ALD-assisted Hybrid Processes for improved Corrosion Resistance of Hard coatings
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2016 .11
원자층 증착장치에 의한 TiO2 박막 코팅된 폴리머 절연체의 표면 및 전기적 특성의 향상
전기전자재료학회논문지
2016 .01
ALD를 이용한 ZnO 기반 박막물질의 광전소자로의 응용
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2015 .05
ALD Al₂O₃ layer 증착에 의한 Sn-3.0Ag-0.5Cu/Cu 접합부 금속학적 및 기계적 특성
대한용접학회 특별강연 및 학술발표대회 개요집
2024 .10
고체산화물 연료전지의 Anode인 Ni/YSZ에 Ni 원자층 증착 코팅의 효과
마이크로전자 및 패키징학회지
2022 .03
ALD 이용하여 Cu₂O 증착된 SnO₂ 나노섬유의 가스 감응 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .11
박막공정 최적화를 위한 ALD Chamber 내부 열유동 해석
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2023 .11
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