저압 CVD에 의한 Si_0.8Ge_0.2 epitaxial growth에 대한 Phosphorus doping 효과

이철진 ,  엄문종 ,  성만영

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .11

저압 CVD에 의한 Si_0.8Ge_0.2 Epitaxial Growth에 대한 In-situ Phosphorus Doping 효과

李鐵眞

전기학회논문지

1998 .12

LPCVD System

이중환

대한전자공학회 단기강좌

1983 .01

저압 CVD에 의한 Si0.8Ge0.2막의 Epitaxial Growth

이철진 ,  엄문종

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

저압 CVD에 의한 Si0.8 Ge0.2 막의 Epitaxial Growth ( Epitaxial Growth of Si0.8 Ge0.2 Layer by LPCVD )

이철진 ,  엄문종

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

LPCVD법으로 제작한 이산화 실리콘 막의 전기적 특성 ( The Electrical Properties of Silicon Dioxide Film Fabricated with LPCVD )

윤형섭 ,  이진희 ,  조경익 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1985 .01

LPCVD 시스템에 의한 박막 증착 연구 ( A Study on the Deposition of Thin Films by LPCVD System )

전치훈 ,  정기로 ,  장원익 외 3명

한국통신학회 학술대회논문집

1988 .01

LPCVD 시스템에 의한 박막 증착 연구 ( A Study on the Deposition of Thin Films by LPCVD System )

전치훈 ,  정기로 ,  장원익 외 3명

특정연구 결과 발표회 논문집

1988 .01

증착온도가 LPCVD 실리콘 박막의 물성과 전기적 특성에 미치는 영향

洪贊熹 ,  朴昌燁

전기학회논문지

1992 .07

Silicon Selective Epitaxial Growth를 이용한 Elevated Source/Drain의 높이가 MOSFET의 전류-전압 특성에 미치는 영향 연구

이기암 ,  김영신 ,  박정호

대한전기학회 학술대회 논문집

2001 .07

EFFECT OF THE ROUGHNESS OF SUBSTRATE SURFACE ON LOW-TEMPERATURE SILICON EPITAXIAL GROWTH

Kwon ,  Sung-Ku ,  Kim 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

LPCVD 공정중 웨이퍼의 온도장 해석 ( Thermal Analysis of the Wafers in LPCVD Process )

김일경 ,  정민철 ,  김우승 외 3명

대한기계학회 논문집 B권

1998 .05

LPCVD 공정중 웨이퍼의 온도장 해석 ( An Analysis of Temperature Field of Wafers in LPCVD Process )

김일경 ,  정민철 ,  김우승 외 3명

대한기계학회 춘추학술대회

1997 .01

램프 가열 방식 LPCVD 장비의 설계 및 제작

하용민 ,  김태성 ,  김충기

대한전기학회 학술대회 논문집

1991 .11

저온제작 LPCVD 다결정 실리콘 박막트랜지스터의 전기적 특성 ( The Electrical Characteristics of LPCVD Poly Silicon Thin Film Transistors Fabricated at Low Temperature )

박승희 ,  정주용 ,  홍찬희 외 1명

전자공학회논문지-A

1992 .06

In-Situ Phosphorus Doping Effect on Si0.8 Ge0.2 Epitaxial Growth by ultraclean LPCVD

이철진 ,  엄문종 ,  성만영

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

LPCVD-Si3N4 박막의 열 산화 ( Thermal Oxidation of Thin LPCVD-Si3N4 Film )

고재석 ,  구경완 ,  조동율 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

RECENT ADVANCES IN SILICON EPITAXIAL GROWTH FOR ADVANCED DEVICE STRUCTURES

John Ogawa Bo ,  land

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1989 .01

증착속도에 따른 LPCVD 비정질실리콘 박막의 고상결정화거동

최용우 ,  손동균 ,  안병태

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

LPCVD 다결정 실리콘 막 성질이 박막트랜지스터의 전기적 특성에 미치는 영향

하승호 ,  이진민 ,  박승희 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01