Si 모재 위의 Si_(x)Ge_(1-x) 박막에서 부정합 전위와 임계두께에 관한 연구 ( Study on Misfit Dislocations and Critical Thickness in a Si_(x)Ge_(1-x) Epitaxial Film on a Si Substrate )

신정훈 ,  김재현 ,  엄윤용

대한기계학회 춘추학술대회

2001 .06

RECENT ADVANCES IN SILICON EPITAXIAL GROWTH FOR ADVANCED DEVICE STRUCTURES

John Ogawa Bo ,  land

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1989 .01

( 111 ) 기판의 실리콘 단결정층 성장시 발생하는 패턴 이동 현상의 분석 ( An Analysis of Pattern Shift in the Epitaxial Growth of Silicon on ( 111 ) Substrates )

백문철 ,  조경익 ,  송성해

전자공학회지

1984 .07

Optimization of Selective Epitaxial Growth of Silicon in LPCVD

Woo-Seok Cheong

[ETRI] ETRI Journal

2003 .12

저압 CVD에 의한 Si_0.8Ge_0.2 epitaxial growth에 대한 Phosphorus doping 효과

이철진 ,  엄문종 ,  성만영

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .11

저압 CVD에 의한 Si_0.8Ge_0.2 Epitaxial Growth에 대한 In-situ Phosphorus Doping 효과

李鐵眞

전기학회논문지

1998 .12

Roughness-Induced Changes of Surface Energy of Various Dental Substrates

In-Hye Kim ,  Kyo-Han Kim ,  Jun Sik Son 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

Silicon Selective Epitaxial Growth를 이용한 Elevated Source/Drain의 높이가 MOSFET의 전류-전압 특성에 미치는 영향 연구

이기암 ,  김영신 ,  박정호

대한전기학회 학술대회 논문집

2001 .07

Current Status of Layer Transfer Process in Thin Silicon Solar Cell : a review

K. Chak ,  aba ,  ty 외 6명

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2004 .01

METALLURGICAL ISSUES IN COPPER-BASED METALLIZATION

Lin ,  C.S.

Fabrication and Characterization of Advanced Materials

1995 .01

A Study on the Simulation Model of the Surface Roughness for Turning Process

Min-Sung Hong ,  Zhe-Man Lian ,  Jong-Min Kim

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2000 .10

성장 온도에 따른 GaAsP/GaP Epitaxial Layer의 특성

이은철 ,  라용춘 ,  엄문종 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .11

Single Source Chemical Vapor Deposition of Epitaxial silicon Carbide Films

Kyung Won Lee ,  Kyu Sang Yu ,  Yun Soo Kim

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

Low-temperature epitaxial Ge layer growth on Si(100) substrate

신건욱 ,  김현우 ,  윤의준

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

기판조건에 따른 Co/Zr 이중층을 이용한 epitaxial CoS$Si_{2}$ 성장 및 특성연구

김동욱 ,  전형탁

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

[세션초청논문] Optimization of growth rate for Si in a planetary CVD reactor

Zahe ,  Ramadan ,  Ik-Tae Im 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2019 .11

Epitaxial Growth and Properties of GaN Grown by Low Pressure MOCVD

Bae Yong Kim ,  Jeong Hoon Yi ,  Doo Hyeb Yoon 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

Epitaxial Growth and Characterization of 3C-SiC on Si Substrate using Rapid Thermal Chemical Vapour Deposition

심현욱 ,  김광철 ,  서영훈 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

선택적 단결정 실리콘 성장의 고집적 소자 적용 기술

정우석

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01