지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
이용수
1998
1997
Abstract
1. 서론
2. 실험방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
참고문헌
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
저압 CVD에 의한 Si0.8Ge0.2 Epitaxial Growth에 대한 In-situ Phosphorus Doping 효과
전기학회논문지
1998 .12
Optimization of Selective Epitaxial Growth of Silicon in LPCVD
[ETRI] ETRI Journal
2003 .12
IN-SITU PHOSPHORUS HEAVY DOPING ON $Si_{1-x}Ge_x$ EPITAXIAL GROWTH WITH HIGH Ge FRACTION BY USING LPCVD
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
저압 CVD에 의한 Si0.8Ge0.2막의 Epitaxial Growth
대한전자공학회 학술대회
1997 .11
저압 CVD에 의한 Si0.8 Ge0.2 막의 Epitaxial Growth ( Epitaxial Growth of Si0.8 Ge0.2 Layer by LPCVD )
대한전자공학회 학술대회
1997 .11
In-Situ Phosphorus Doping Effect on Si0.8 Ge0.2 Epitaxial Growth by ultraclean LPCVD
대한전자공학회 학술대회
1998 .01
In-Situ Phosphorus Doping on Si1-xGex Epitaxial Growth in the SiH4-GeH4-PH3 Gas System by Using LPCVD
International Conference on Electronics, Informations and Communications
1998 .01
Si 모재 위의 Si_(x)Ge_(1-x) 박막에서 부정합 전위와 임계두께에 관한 연구 ( Study on Misfit Dislocations and Critical Thickness in a Si_(x)Ge_(1-x) Epitaxial Film on a Si Substrate )
대한기계학회 춘추학술대회
2001 .06
성장 온도에 따른 GaAsP/GaP Epitaxial Layer의 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
1997 .11
EFFECT OF THE ROUGHNESS OF SUBSTRATE SURFACE ON LOW-TEMPERATURE SILICON EPITAXIAL GROWTH
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
MBE에 의한 Ge epitaxial layer 성장
한국재료학회 학술발표대회
1993 .01
In-situ NH₃ doping에 따른 GaAs0.35P0.65에피막의 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
1998 .07
RECENT ADVANCES IN SILICON EPITAXIAL GROWTH FOR ADVANCED DEVICE STRUCTURES
ICVC : International Conference on VLSI and CAD
1989 .01
MOLECULAR BEAM EPITAXIAL GROWTH OF SHORT PERIOD SUPERLATTICE
ICVC : International Conference on VLSI and CAD
1991 .01
Growth of Epitaxial CoSi2 using Co / Ti / Si System
대한전자공학회 학술대회
1996 .01
고농도 Ge fraction을 갖는 Si1-xGex막의 Epitaxial Growth에 대한 In-Situ Phosphorus Doping 효과 ( In-situ Phosphorus Doping Effect on Epitaxial Growth of Si1-xGex Film with High Ge Fraction )
대한전자공학회 학술대회
1998 .07
Metal Epitaxial Layer by MBE
한국재료학회 학술발표대회
1992 .01
Epitaxial Growth and Properties of GaN Grown by Low Pressure MOCVD
대한전자공학회 학술대회
1996 .01
Epitaxial growth of organic semiconductors by eutectic solidification
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2014 .04
0