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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
옥명훈 (고려대학교) 백준걸 (고려대학교)
저널정보
대한산업공학회 대한산업공학회지 대한산업공학회지 제44권 제2호
발행연도
2018.4
수록면
132 - 140 (9page)
DOI
10.7232/JKIIE.2018.44.2.132

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2019

K-S검정(Kolmogorov-Smirnov test)을 이용한 반도체 제조 공정에서의 불량 원인 분석 방법론
옥명훈 산업경영공학과 2019.01 학위논문

2018

K-S검정(Kolmogorov-Smirnov Test)을 응용한 반도체 제조 시스템에서의 불량 원인 분석 방법론
옥명훈 ,  백준걸 대한산업공학회지 2018.04 학술저널

2017

K-S 검정(Kolmogorov-Smirnov test)을 응용한 반도체 제조 시스템에서의 불량 원인 분석 방법론
옥명훈 ,  백준걸 대한산업공학회 추계학술대회 논문집 2017.11 학술대회자료

초록· 키워드

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Root Cause Analysis of the defect in Manufacturing is the most basic and important work. It is difficult to analyze the cause of defects because the semiconductor process has more than thousands of root cause factors and the data also show non-parametric characteristics with extreme outliers. However, the semiconductor field requires a cause analysis method that is easy, accurate, fast, and capable of interpreting the result so that everyone can understand it. In this study, Modified K-S test (Kolmogorov-Smirnov test), which is a nonparametric test method is applied to fail bit count data obtained from wafer test process. the proposed methodology will help semiconductor engineers analyze the cause of defects easily and intuitively.
#Root Cause Analysis #Wafer Test #Failbit #Outlier #Non-Parametric Test #K-S Test

목차

1. 서론
2. 데이터 설명 및 특성
3. K-S Test를 이용한 불량 원인 분석
4. 실험 결과
5. 결론
참고문헌

참고문헌 (12)

참고문헌 신청
Baek, D.-H. and Nam, J.-G. (2002), Semiconductor yield improvement system using the data mining, IE interfaces, 2002 single issue, 293-300. Hsu, S. C. and Chien, C. F. (2007), Hybrid data mining approach for pattern extraction from wafer bin map to improve yield in semiconductor manufacturing, International Journal of Production Economics, 107(1), 88-103. Kang, P., Kim, D., Lee, S.-K., Doh, S., and Cho, S. (2012), Estimating the Reliability of Virtual Metrology Predictions in Semiconductor Manufacturing : A Novelty Detection-based Approach, Journal of the Korean Institute of Industrial Engineers, 38(1), 46-56 Kim, K. and Baek, J. (2014), A prediction of chip quality using OPTICS(Ordering Points to Identify the Clustering Structure)-based feature extraction at the cell level, Journal of the Korean Institute of Industrial Engineers, 40(2), 151-160. Lilliefors, H. W. (1967), On the Kolmogorov-Smirnov Test for normality with mean and variance unknown, Journal of the American Statistical Association, 62, 399-402.

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