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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2019.5
- 수록면
- 214 - 214 (1page)
이용수
이 논문의 연구 히스토리 (12)
2019
랩그라인딩 후 사파이어 웨이퍼의 표면거칠기가 화학기계적 연마에 미치는 영향
서준영
,
이현섭
Tribology and Lubricants
2019.12
학술저널
사파이어 랩그라인딩 시 자유입자의 사용이 화학기계적 연마 결과에 미치는 영향
서준영
,
김태경
,
손준규
외 1명
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019.10
학술대회자료
사파이어 웨이퍼링 공정에서 랩그라인딩과 화학기계적 연마 연계 공정에 관한 연구
서준영
,
김태경
,
손준규
외 1명
한국트라이볼로지학회 학술대회
2019.10
학술대회자료
랩그라인딩 압력에 따른 CMP 공정 결과에 대한 연구
서준영
,
김태경
,
손준규
외 1명
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019.05
학술대회자료
사파이어 랩그라인딩 후 CMP공정에 관한 연구 : 랩그라인딩 연마액 희석비의 영향
서준영
,
김태경
,
손준규
외 1명
한국트라이볼로지학회 학술대회
2019.04
학술대회자료
2018
실리카 슬러리 희석비가 사파이어 기판의 랩그라인딩 결과에 미치는 영향
서준영
,
김태경
,
손준규
외 1명
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018.10
학술대회자료
압력 변화가 사파이어 기판의 랩그라인딩 결과에 미치는 영향
서준영
,
김태경
,
손준규
외 1명
한국트라이볼로지학회 학술대회
2018.10
학술대회자료
회전속도가 사파이어 기판의 랩그라인딩 결과에 미치는 영향
서준영
,
김태경
,
손준규
외 1명
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2018.10
학술대회자료
사파이어 기판의 랩 그라인딩 공정에서 실리카 입자크기에 따른 표면거칠기 안정화에 관한 연구
서준영
,
김태경
,
이현섭
대한기계학회 춘추학술대회
2018.05
학술대회자료
DLG 공정에서 실리카 입자크기에 따른 사파이어 기판의 연마에 미치는 영향에 관한 연구
서준영
,
김태경
,
이현섭
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018.05
학술대회자료
사파이어 웨이퍼의 양면랩그라인딩 공정에서 실리카 입자의 영향에 관한 연구
서준영
,
김태경
,
이현섭
한국트라이볼로지학회 학술대회
2018.04
학술대회자료
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2019 .10
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화학기계적 연마(CMP) 공정에서의 트라이볼로지 연구 동향
Tribology and Lubricants
2018 .06
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랩그라인딩 후 사파이어 웨이퍼의 표면거칠기가 화학기계적 연마에 미치는 영향
Tribology and Lubricants
2019 .12
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사파이어 CMP에서의 연마모델에 관한 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2017 .11
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랩그라인딩 공정에서의 연마율 모델
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .10
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구리 후막용 CMP 슬러리의 환경 영향 평가
한국트라이볼로지학회 학술대회
2016 .10
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CMP 장비의 초 고압(800g/cm²) 조건에서 구조 특성에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .12
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Effects of Temperature on Removal Rate in Cu CMP
한국기계가공학회지
2018 .12
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전해 이온화 슬러리를 이용한 CMP에서 전극 소재에 따른 마찰 특성
한국트라이볼로지학회 학술대회
2022 .04
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압력 변화가 사파이어 기판의 랩그라인딩 결과에 미치는 영향
한국트라이볼로지학회 학술대회
2018 .10
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실리카 슬러리 희석비가 사파이어 기판의 랩그라인딩 결과에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .10
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사파이어 웨이퍼링 공정에서 랩그라인딩과 화학기계적 연마 연계 공정에 관한 연구
한국트라이볼로지학회 학술대회
2019 .10
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슬러리와 산소 가스의 비율 조절을 통한 실시간 CMP 온도제어
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .10
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라만 분광법을 이용한 CMP 공정에서의 슬러리 성분 및 농도 분석
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2024 .10
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니켈 CMP 에서 화학첨가제의 영향에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .12
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CMP 공정 조건에 따른 사파이어 웨이퍼 재료제거율에 관한 연구
한국트라이볼로지학회 학술대회
2016 .04
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고분자 결함 구조에 따른 CMP pad의 표면 형상 및 CMP 성능 변화 연구
한국트라이볼로지학회 학술대회
2019 .04
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신경망을 이용한 SiO₂ CMP의 재료제거율 예측
한국트라이볼로지학회 학술대회
2024 .10
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다층구조의 CMP 슬러리 여과용 필터 제조 특성 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2021 .12
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