Tunable RF 기기 적용을 위한 ALD-HfO₂의 마이크로파 대역 강유전체 특성 고찰

한상우; 이창현; 이정해; 차호영

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자료유형: 학술저널

저자정보: 한상우 (Hongik University) 이창현 (Hongik University) 이정해 (Hongik University) 차호영 (Hongik University)

저널정보: 한국전기전자학회 전기전자학회논문지 전기전자학회논문지 제22권 제3호

발행연도: 2018.9

수록면: 780 - 785 (6page)

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본 논문에서는 tunable RF 기기에 적용이 가능한 HfO₂ 강유전체를 활용하여 metal-ferroelectric-metal (MFM) 커패시터를 구현하였으며 마이크로파 대역주파수 까지 전압에 따른 커패시턴스 tunability 특성을 고찰 하였다. 1kHz부터 5GHz 대역에 이르기까지 광범위한 범위의 커패시턴스-전압 특성을 분석하였으며 커패시턴스 tunability는 500 MHz 이상의 주파수에서 2.5 GHz 대역까지 ～3 %의 tunability가 유지되는 것을 확인 하여 마이크로파 주파수 대역에서 ALD HfO2기반 전자 제어 가변 커패시터의 사용 가능성을 입증하였다.

#variable capacitor #frequency-dependent capacitance #ferroelectric material #HfO₂ #MFM capacitor

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[학술지(정기간행물)] - M. Sazegar / 2012 / Beam steering transmitarray using tunable frequency selective surface with integrated ferroelectric varactors / IEEE Transactions on Antennas and Propagation 60 (12) : 5690 ~ 5699

[단행본] - R. a York / 2009 / Tunable Dielectrics for RF Circuits;Multifunctional Adaptive Microwave Circuits and Systems / SciTech Pub

[학술지(정기간행물)] - S. P. Antenna / 2009 / MEMS-Switched , Frequency-Tunable Hybrid Slot/PIFA Antenna / IEEE Antennas and Wireless Propagation Letters 8 : 311 ~ 314

[학술지(정기간행물)] - L. R. Tan / 2013 / Magnetically tunable ferrite loaded SIW antenna / IEEE Antennas and Wireless Propagation Letters 12 : 273 ~ 275

[학술지(정기간행물)] - A. C. Polycarpou / 2014 / Tunable patch antenna printed on a biased nematic liquid crystal cell / IEEE Transactions on Antennas and Propagation 62 (10) : 4980 ~ 4987

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