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학술저널
저자정보
Byung-Seok Lee (Dankook University) Yong-Seo Koo (Dankook University)
저널정보
대한전자공학회 JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE Journal of Semiconductor Technology and Science Vol.19 No.3
발행연도
2019.6
수록면
300 - 304 (5page)
DOI
10.5573/JSTS.2019.19.3.300

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This paper proposes the SCR-based new structural ESD protection circuit with the fast trigger voltage and the high robustness characteristics by inserting the NMOS structure to the SCR-based ESD protection circuit. The proposed ESD protection circuit was fabricated by Bipolar CMOS DMOS (BCD) 0.18 μm process and verified by the Transmission Line Pulse (TLP) Electrostatic Discharge (ESD) protection measures. The proposed structure has a fast trigger voltage characteristic and high It2 (Second Breakdown) characteristic because of the additional operation by inserting NMOS structure. In order to analyze the operating characteristics and electrical characteristics of the proposed circuit, fabricated chip was measured by TLP measurement, Human Body Model (HBM) and Machine Model (MM). In the measurement result, it has Trigger voltage 9.53 V and Second Breakdown Current 6.89 A. Also it has high robustness of HBM 6 kV, MM 550 V.
#ESD #electrostatic discharge #trigger voltage #holding voltage #SCR

목차

Abstract
I. INTRODUCTION
II. PROPOSED SCR BASED ESD PROTECTION CIRCUIT
III. EXPERIMENTAL RESULT
IV. CONCLUSION
REFERENCES

참고문헌 (9)

참고문헌 신청
Yong-Seo Koo, Kwang-Yeob Lee, Kui-Dong Kim, and Jong-ki Kwon, “Design of SCR-based ESD Protection Device for Power Clamp using Deep- Submicron CMOS Technology,” Micronics Journal, 40 , 2009. google schola M. D. Ker and C. C. Yen, “Investigation and Design of on-chip Power-Rail ESD Clamp Circuits without Suffering Latch up-Like Failure during System-Level ESD Test,” IEEE J. Solid-State Circuits, 43, 2008. google schola Yong-Seo Koo, Kwang-Yeob Lee, Kui-Dong Kim, and Jong-Ki Kwon, “The design of high holding voltage SCR for whole-chip ESD protection,” IEICE Electron. Express, 5, 2008. google schola AZ, H. Wang, “An On-Chip ESD Protection Circuit with Low Trigger Voltage in BiCMOS Technology”, IEEE J. Solid-State Circuits, 36, 2001. google schola Oleg Semenov, Hossein Sarbishaei and Manoj Sachdev, ESD Protection Device and Circuit Design for Advanced CMOS Technologies, (Springer, Waterloo, 2008) 53. google schola

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