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박건우 (부산대학교) 박희성 (부산대학교) 김환호 (부산대학교) 김철웅 (부산대학교) 김진석 (도쿄일렉트론) 이해준 (부산대학교)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2019년 한국진공학회 (제57회 하계정기학술대회 초록집)
발행연도
2019.8
수록면
97 - 97 (1page)

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