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Dry etching of Al₂O3 thin films in inductively coupled plasma system
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
Analysis of chemical reactions of CF₄ and C₄F8 for inductively coupled plasma based on plasma parameters
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
Characterization of inductively coupled Ar/CH4 plasma using tuned single langmuir probe and fluid simulation
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
공진 안테나를 사용한 유도 결합 플라즈마에서 고효율 플라즈마 발생 및 플라즈마 동역학 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
Effect of rf bias power on plasma density and electron heating in inductively coupled plasma (ICP)
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
Experimental investigation on plasma density distribution at a wafer-level in an inductively coupled plasma using multiple passive resonant antennas
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
Interpretation of current decrease during E - H mode transition in a cylindrical inductively coupled plasma
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
Research on parallelization mechanism of inductively coupled plasma for large area plasma source
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
ICP 소스 외벽에 플라즈마가 미치는 온도 분포
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
Oxide 및 Nitride 고선택비 식각 공정에서의 CF4(CHF3)/O2/Ar inductively coupled pulsed plasmas
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
Brief Review of Atomic Layer Etching Based on Radiofrequency-Biased Ar/C₄F6-Mixture-Based Inductively Coupled Plasma Characteristics
Applied Science and Convergence Technology
2023 .03
Effects of Chamber Wall Contamination Levels on Plasma Properties in Long-Term C₄F8/Ar Plasma Deposition Processes
Applied Science and Convergence Technology
2024 .11
Electrical Characteristics of Inductively Coupled Plasma Sources using Magnetic Resonance Wireless Power Transmission System
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
Si Fin etching using Cl₂/Ar Sync, Asynchronized Pulsed Inductively Coupled Plasmas
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
Inductively Coupled Plasma 장치에서 Hybrid Plasma Model을 활용한 C₂F8/ O₂ 가스의 특성 해석
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
플라즈마 진단 시스템을 이용한 기판에서의 플라즈마 밀도 측정 실험
한국진공학회 학술발표회초록집
2021 .02
Etching of Ta₂O₅ thin films by inductively coupled plasma
한국분석과학회 학술대회
2024 .11
Metal window를 갖는 평판형 유도 결합 플라즈마 장치에 대한 고찰
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
Study on the electrical and optical diagnosis of electron temperatures according to conditions of plasma emission light intensity in inductively coupled plasma
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
Effects of pulse modulation in Ar/H₂ inductively coupled plasma using fluid simulation
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
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