MOCVD를 이용한 금속 촉매 종류에 따른 β-Ga2O3 나노 와이어의 제작과 특성

이승현; 이서영; 정용호; 이효종; 안형수; 양민

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자료유형: 학술저널

저자정보: 이승현 이서영 정용호 이효종 안형수 양민

저널정보: 한국결정성장학회 한국결정성장학회지 한국결정성장학회지 제27권 제1호

발행연도: 2017.1

수록면: 1 - 8 (8page)

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연구결과

이 논문의 연구 히스토리 (2)

2017

MOCVD를 이용한 β-Ga2O3 나노 와이어 금속 촉매 성장 및 특성에 관한 연구

이승현 전자소재공학과 2017.01 학위논문

MOCVD를 이용한 금속 촉매 종류에 따른 β-Ga2O3 나노 와이어의 제작과 특성

이승현 , 이서영 , 정용호 외 3명 한국결정성장학회지 2017.01 학술저널

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Metal organic chemical vapor deposition(MOCVD) 방법을 이용하여 금속 촉매에 따른 β-Ga2O3 나노 와이어의 제작과 특성에 대해 연구하였다. 본 연구의 성장 조건에서 β-Ga2O3 나노 와이어의 성장이 가능한 금속 촉매는 Au, Cu 그리고Ni이 있었으며 각 금속 촉매로 성장한 나노 와이어는 성장률과 형상에 많은 차이가 있었다. Ni 촉매 성장의 경우에는Vapor-Solid(VS) 과정이 β-Ga2O3 나노 와이어 성장의 주된 메커니즘이고 Au, Cu 촉매 성장의 경우에는 Vapor-Liquid-Solid (VLS) 과정이 주된 성장 메커니즘 임을 확인할 수 있었다. 또한, 촉매의 종류에 따라서 β-Ga2O3 나노 와이어의 광학적 특성도 다르게 나타나는 것을 확인할 수 있었다. 반면, 동일한 성장 조건에서 Ti, Ag 그리고 Sn 금속은 나노 와이어 성장을위한 촉매로 작용하지 못하였다. 본 연구에서는 금속 촉매에 따른 나노 와이어의 성장 가능 여부와 성장한 나노 와이어의특성 변화가 금속 촉매의 녹는 점, 금속- Ga의 공융 점과 관련이 있음을 상태도와 연관 지어 밝혀내었다.

#Ga2O3 #Nanowire #Catalyst #MOCVD

참고문헌 (29)

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B. Predel / 1964 / Zustandsdiagramm und eigenschaften von Gallium-Zinn-Legierungen / J. Less-Common Met. 7 : 347 ~

C. J. Cooke / 1966 / The equilibrium diagram of the system gold-gallium / J. Less-Common Met. 10 : 42 ~

C. Jin / 2012 / Ultrasensitive multiple networked Ga2O3-core/ZnO-shell nanorod gas sensors / Sens. Actuators A. 161 : 223 ~

D. Dohy / 1982 / Raman spectra and valence force field of single-crystalline βGa2O3 / J. Solid State Chem. 45 : 180 ~

D. Swenson / 1995 / Phase equilibria in the Ga-In-Ni system at 600o C / J. Phase Equilib. 16 : 508 ~

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