지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2004.1
- 수록면
- 23 - 27 (5page)
이용수
초록· 키워드
오류제보하기
본 연구에서는 RF-Magnetron Sputtering 장치를 이용하여 AlxTa1-x (x=0.0~1.0) 합금박막을 성장하였고, XRD, AFM, 4탐침법 등을 사용하여 시료의 결정질과 표면형상, 그리고 전기적 특성을 분석하였다. Al 조성을 변화시켜서 Al-Ta 합금박막을 증착하고, 그에 따라 얻어진 결과를 토대로 하여 박막 두께별, 박막의 폭 별로 합금박막을 성장하였다. 또한 heat controller를 사용하여 시료의 발열특성을 분석하였다. 본 연구의 결과 Al-Ta 합금박막은 Al 조성 x=6.63at%에서 가장 높은 전기저항이 나타났고, 박막두께가 얇아지거나 패터닝된 박막의 폭이 좁을수록 더욱 높은 전기저항이 나타났다. 발열온도는 전기저항의 변화추이와 동일한 양상을 보였고, Al 조성 x=6.63%, 박막두께 d=500nm, 박막폭 w=1.5mm에서 가장 높은 발열온도 (400oC)와 출력 (12.6W/cm2)을 나타냈다.
목차
등록된 정보가 없습니다.
참고문헌 (11)
참고문헌 신청
/ 1991 / Annealing Behavior of Alloy Films for Interconnection Conductor in Microelectonic Devices b9 : 2542 ~
/ 1995 / Stress Measurement in Al-Si-Cu interconnection Layers 142 : 1946 ~
/ 1996 / Influence of Adding Transition Metal Element to an Aluminum Target on Electrical Resistivity and Hillock Resistance in Sputter-Deposited Aluminum Alloy Thin Films A1
/ 1996 / Ohmic Contacts to n-type GaN Using Pd/Al Metallization 25 : 819 ~
/ 1996 / Oxidation Characteristic of Al-Ta thin Alloy Films as a Passivation Layer on Cu 35 : 704 ~
/ 1995 / Stress Measurement in Al-Si-Cu interconnection Layers 142 : 1946 ~
/ 1996 / Influence of Adding Transition Metal Element to an Aluminum Target on Electrical Resistivity and Hillock Resistance in Sputter-Deposited Aluminum Alloy Thin Films A1
/ 1996 / Ohmic Contacts to n-type GaN Using Pd/Al Metallization 25 : 819 ~
/ 1996 / Oxidation Characteristic of Al-Ta thin Alloy Films as a Passivation Layer on Cu 35 : 704 ~
함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
N-type 결정질 실리콘 태양전지 응용을 위한 Al2O3 박막의 패시베이션 특성 연구
한국결정성장학회지
2014 .01
-
RF magnetron sputter의 분위기에 따른 TiO2 박막의 특성
한국결정성장학회지
2011 .01
-
RF 스퍼터링 법에 의한 사피이어 기판상의 ZnO 박막의 성장
한국결정성장학회지
2004 .01
-
Characteristics of Al-doped ZnO thin films prepared by sol-gel method
한국결정성장학회지
2008 .01
-
Effects of process temperature on the microstructure and magnetic properties of electrodeposited Co-Pt alloy thin films
한국결정성장학회지
2008 .01
-
Electrical characteristics of Al2O3/Ta2O5/SiO2 multi-layer films using various tunnel oxide thicknesses at different annealing temperatures
Journal of Ceramic Processing Research
2010 .01
-
ZnO 초박막의 두께 변화에 따른 구조적, 전기적, 광학적 특성 변화 연구
마이크로전자 및 패키징학회지
2019 .01
-
Top emission 유기발광소자 적용을 위한 도핑된 indium tin oxide 박막의 전기 적 광학적 특성 연구
한국결정성장학회지
2008 .01
-
알루미늄 합금과 그 접합 방법
마이크로전자 및 패키징학회지
2018 .01
-
Sol-gel법에 의한 Al과 F가 첨가된 ZnO 투명전도막의 전기 및 광학적 특성
한국결정성장학회지
2006 .01
-
RF-DC magnetron co-sputtering법에 의한 p-ZnO 박막의 성장
한국결정성장학회지
2004 .01
-
Sol-Gel 법을 이용한 칼슘-알루미네이트계 전자화물 박막의 제조와 특성
한국결정성장학회지
2010 .01
-
액상증착법에 의한 초친수 TiO2 박막 제조
한국결정성장학회지
2010 .01
-
Preparation of Ta-doped TiO₂thin films by co-sputtering and their photoelectrode properties
한국결정성장학회지
2008 .01
-
기계적 합금법에 의한 Al/graphite 복합체 제조 및 열전도도 특성 분석
한국결정성장학회지
2016 .01
-
Ni-Cr 박막 저항의 특성에 미치는 열처리 조건의 영향
마이크로전자 및 패키징학회지
2004 .01
-
RF 마그네트론 스퍼터링 방법을 사용해 증착된 Al이 도핑 된 ZnO 박막의 H2/ (Ar + H2) 가스 비율에 따른 특성
한국결정성장학회지
2012 .01
-
RF 마그네트론 스퍼터링법으로 투명 PI 기판에 증착된 ITO 박막의 특성에 미치 는 열처리의 영향
한국결정성장학회지
2020 .01
-
전기도금법으로 제조한 Ni 박막과 Ni-Al2O3 복합박막의 기계적 성질
마이크로전자 및 패키징학회지
2005 .01
이 논문의 저자 정보
최근 본 자료
댓글(0)
0