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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국센서학회 센서학회지 센서학회지 제14권 제2호
발행연도
2005.1
수록면
56 - 61 (6page)

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This paper present characteristics of chromium oxide thin-film as piezoresistive sensors, which were deposited on Si substrates by DC reactive magnetron sputtering in an argon-Oxide atmosphere for high temperature applications. The chemical composition, physical and electrical properties and thermal stability ranges of the CrOx sensing elements have studied. CrOx thin films with a linear gauge factor(GF≒15), high electrical resistivity(ρ=340μΩ㎝) and TCR〈-55ppm/℃ have been obtained. These CrOx thin films may allow high temperature pressure sensor miniaturization to be achieved.
#CrOx thin film strain gauge #Piezoresistive sensors #Gauge factor

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/ 1986. / Behaviour of Bi-Sb alloy thin film as strain gauges 137 : 199 ~ 205 google schola / 1990. / Constantan thin film strain gauge load cell : 149 ~ 152 google schola / 1990. / Thin film pressure transducer with manganese film as the strain gauge 24 : 35 ~ 39 google schola / 1991. / N films prepared by reactive sputtering 240 : 238 ~ 241 google schola / 1993. / Ion-beam sputtered thin film strain gauge pressure transducers 35 : 265 ~ 268 google schola

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