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저널정보
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제15권 제3호
발행연도
2002.1
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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2002

Co-Cr(-Ta)/Si 이층막의 자기적 특성
김용진 ,  박원효 ,  금민종 외 3명 전기전자재료학회논문지 2002.01 학술저널

2001

CoCr(-Ta)/Si 이층막의 c-축 우선 배향성에 관한 연구
김용진 ,  박원효 ,  신성권 외 3명 대한전기학회 학술대회 논문집 2001.07 학술대회자료

2000

연자성하지층을 이용한 CoCr / NiFe 이층막의 자기적 특성
김용진 ,  양진석 ,  금민종 외 2명 한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집 2000.05 학술대회자료

초록· 키워드

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In order to investigate the magnetic properties of CoCr-based bilayered thin films on kind of underlayer, we introduced amorphous Si layer to Co-Cr(-Ta) magnetic layer as underlayer. First, we prepared CoCr and CoCrTa single layer using the Facing Targets Sputtering system to investigate their properties. It was revealed that with increasing the film thickness of CoCr, CoCrTa single layer, crystalline orientation and perpendicular coercivity was improved. The CoCrTa thin film showed better crystalline and magnetic characteristics than CoCr thin film. As a result of investigating magnetic properties of CoCr and CoCrTa magnetic layer on introducing the Si underlayer, perpendicular coercivity and saturation magnetization of CoCr/Si and CoCrTa/Si bilayered thin film were decreased due to the increased grain size and diffusion of Si atoms to magnetic layer. And they showed constant with increasing the film thickness of Si thin film. However, in case of CoCrTa/Si bilayered thin film, in-plane coercivity was controlled low at about 250Oe. The c-axis orientations of CoCr/Si and CoCrTa/Si bilayered thin film showed a good crystalline characteristics as about 2°.
#Perpendicular magnetic recording media #Amorphous Si #Co-Cr #-Ta) thin film #C-axis dispersion angle #Perpenduclaur coercivity Hc⊥ #Facing Targets Sputtering system

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