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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2007.1
- 수록면
- 883 - 888 (6page)
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Investigation of improving the properties of UV detector which uses the wide bandgap of ZnO are under active progress. The present study focused on the design and fabrication of i-ZnO/p-inversion layer/n--Si Epi. which is characterized with very thin p-type inversion layer for UV detectors. The i-ZnO thin film for achieving p-inversion layer which was grown by RF sputtering at 450 ℃ and then annealed at 400 ℃ in O2 gas for 20 min shows good intrinsic properties. High (0002) peak intensity of the i-ZnO film is shown on XRD spectrum and it is confirmed by XPS analysis that the ratio of Zn : O of the i-ZnO film is nearly 1 : 1. Measurement shows high transmission of 79.5 % in UV range (<400 nm) for the i-ZnO film. Measurement of Vr-Iph shows high UV photo-current of 1.2 mA under the reverse bias of 30 V.
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C. H. Park / 2003 / n-ZnO/p-Si photodiodes fabricated using ion-beam induced isolation technique / NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERA
C. H. Park / 2004 / n-ZnO/p-Si photodiodes fully isolated by B+ion-implantation / Nucleare Instruments and Methods in Physics Research B 216 : 127 ~
F. Masuoka / 2006 / Applicability of ZnO single crystals for ultraviolet sensors / Phus. Sat. Sol. (c) 3 (4) : 1238 ~
H.-S. Kwack / 2005 / Optical properties and carrier dynamics of two-dimensional electrons in AlGaN/GaN single heterostructures / APPLIED PHYSICS LETTERS 87 : 3751 ~ 3762
J. Y. Lee / 2002 / Characterization of films and intyerfaces in n-ZnO/p-Si photodiodes / Thin Solid Films 420-421 : 112 ~
C. H. Park / 2004 / n-ZnO/p-Si photodiodes fully isolated by B+ion-implantation / Nucleare Instruments and Methods in Physics Research B 216 : 127 ~
F. Masuoka / 2006 / Applicability of ZnO single crystals for ultraviolet sensors / Phus. Sat. Sol. (c) 3 (4) : 1238 ~
H.-S. Kwack / 2005 / Optical properties and carrier dynamics of two-dimensional electrons in AlGaN/GaN single heterostructures / APPLIED PHYSICS LETTERS 87 : 3751 ~ 3762
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