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논문 기본 정보

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저널정보
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제17권 제5호
발행연도
2004.1
수록면
521 - 525 (5page)

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Crystalline carbon nitride films were attempted for an application of humidity sensors. The films were deposited on Al2O3 substrate having interdigitated electrodes by reactive rf magnetron sputtering system. The film revealed a good humidity-resistance characteristics as well as humidity-capacitance ones in the humidity range of 10 ～ 95 RH(%). Temperature dependence was also investigated. These results suggest that the carbon nitride film has a possibility for new humidity-sensitive material.
#Humidity sensors #Carbon nitride films #Sputtering system

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참고문헌 (14)

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/ 1980. / Humidity-sensitive electrical conduction of MgCr2O4-TiO2 porous ceramics 63 : 295 ~ google schola / 1983. / A thin-film resistance humidity sensor 4 : 307 ~ google schola / 1986. / A capacitive humidity sensors with very fast response time and very low hysteresis : 368 ~ google schola / 1986. / Humidity sensors: principles and application 10 : 379 ~ google schola / 1986. / Resonant- microbridge vapor sensor ed- 33 (4) : 499 ~ google schola

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