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이용수
ABSTRACT
INTRODUCTION TO CARBON NITR-IDESYNTHESIS
SYNTHESIS OF CARBON NITRIDE THIN FILMS BY SHIELDED ARCION PLATING INTRODUCTION
EXPERIMENTAL
RESULTS AND DISUSSION
CONCLUSIONS
ACKNOWLEDGMENTS
REFERENCES
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Synthesis of Carbon Nitride Films by Dual Microwave Plasma Source CVD
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2013 .11
포스트 플라즈마를 이용한 질화의 질화층 형성에 미치는 전처리의 영향에 대한 연구
열처리공학회지
2005 .01
마그네트론 스터퍼에 의한 Carbon Nitride 박막의 합성 및 특성에 관한 연구
전기학회논문지 P
2003 .09
Effects of Source Gas for Preparation of Carbon Nitride Using Microwave Plasma CVD
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2008 .06
The Corrosion and Electrical Properties of AISI 316L by Plasma Nitriding for PEMFC
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2008 .06
FE Properties of Carbon Nitride Prepared by Microwave Plasma CVD
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2008 .06
Carbon nitride based electrochemical ammonia synthesis catalyst
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .05
저압가스질화에서 탄소강의 초기 화합물층 형성 거동
한국표면공학회지
2011 .06
플라즈마질화에서 발생기 질소와 질화 속도에 관한 연구
열처리공학회지
2010 .01
SPUTTER-DEPOSITION OF CARBON NITRIDE FILMS WITH HIGH NITROGEN CONCENTRATION
한국표면공학회지
1996 .10
Study on the optimization of plasma nitriding process for duplex treatment
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2005 .05
공간 분할 PE-ALD에서 증착된 저온 실리콘 질화물 박막의 Plasma Treatment 특성 연구
대한전자공학회 학술대회
2020 .08
펄스 레이저 애블레이션이 결합된 고전압 방전 플라즈마 장치를 이용한 유전성 질화탄소 박막의 합성
전기전자재료학회논문지
2003 .01
THE EFFECT OF THE HIGH DENSITY PLASMA ON THE DIAMOND-LIKE CARBON FILMS
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2003 .10
NEW APPLICATIONS OF R.F. PLASMA TO MATERIALS PROCESSING
한국표면공학회지
1996 .10
Effect of pulse frequency on carbon nitride synthesized using pulsed microwave plasma CVD
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2013 .11
새로운 X 선 마스트 기판재료로서 ECR plasma CVD를 이용한 carbon nitride 재료의 개발
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
기판과 성장조건에 따른 질화탄소막의 결정성장 특성
전기전자재료학회논문지
2003 .01
RF-PACVD를 이용한 Hydrogenated Carbon Nitride박막의 합성 및 특성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1998 .11
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